基于pzt微驱动的激光直写自动调焦系统动态特性分析.pdfVIP

光 学 仪 器 Vo1．28，No．2 第28卷 第 2期 April，2006 2006年 4月 OPTICAL INSTRUMENTS 文章编号 ：1005—5630(2006)020056—05 基于PZT微驱动的激光直写 自动调焦系统动态特性分析 闫 玮 ，梁宜勇，杨 国光 (浙江大学现代光学仪器国家重点实验室，浙江 杭州 310027) 摘要：为提高激光直写调焦系统的稳定性和响应速度，从弹性力学角度出发，对调焦执 行机构微动台进行 了力和位移关系的建模 ，并全面分析 了其动态响应特性 ，动态特性分析 为PID调节提供 了理论依据 。在PID校正中着重加强微分超前调节作用，缓解 了系统相位 滞后的问题 ，从而使 系统得 到较好的稳 定度和响应速度 。通过激光直写试验验证调焦 系统 的调焦精度为0．2m。 关键词：微动台；动态响应 ；调焦系统；激光直写 中图分类号：TP215 文献标识码 ：A Analysisofdynamiccharacteristicsoffocusingsystem basedonPZT micro—actuator YAN W ei，LIANG Yi—yong，YANG Guo—guang (StateKeyLaboratoryofModernOpticalInstrumentation，ZhejiangUniversity，Hangzhou310027，China) Abstract：Toimprovethefocusingsystematicstabilityandresponsespeedofthelaserdirectwriting system ，areasonablemodelingforstrengthanddisplacementrelationofthemicro—actuator，whichisthe executivebodyinthefocusingsystem ．wasproposedbasedonelasticmechanics．Fullanalysisofthe dynamic response characteristics have been done，which provides a theoretic evidence for PID adjustment．ItfocusesondifferentiationinPID adjustment，amendsthephaselagproblem andgets bettersystematicstabilityandresponsespeed．Experienceonthelaserdirectwritingsystem ，wegot thattheprecisionofthefocusingsystem is0．2／zm． Keywords：micro—actuator；dynamicresponse；focusingsystem ；laserdirectwritingsystem 1 引 言 极坐标激光直写系统是制作高精度元器件的重要设备之一，主要用于生成旋转对称的光学元件，由四 个子系统构成 ：光强控制系统，平台运动系统，自动调焦系统和转台系统。将涂有光刻胶的基片置于转台中 心，并使其匀速旋转；调焦系统使加工过程处于准焦；通过控制平台系统水平运动的距离，改变光刻头与基 片的相对位置；光强系统则调整短波聚焦激光能量的大小和开断，控制在基片上曝光量，来获得任意旋转 对称图形。例如圆光栅，螺线等旋转对称图形。 收稿 日期：2005—06—08 作者简介：闰 玮 (1979一)，女，黑龙江哈尔滨人，硕士研究生，主要从事极坐标激光直写系统方面的研究。 第2期 闫 玮等： 基于PZT微驱动的激光直写自动调焦系统动态特性分析