硼氮原子共掺入金刚石的晶格损伤及其退火过程的计算机模.pdfVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 $% % !6 % ， ， ， /-K 0$% J- 0% 5?2* !6 （ ） :(!9D!6D$% % D((%:% 7E)7 FGHBIE7 BIJIE7 !!6 ELM2 0 FLN, 0 B-O 0 硼 氮原子共掺入金刚石的晶格损伤及其 ! 退火过程的计算机模拟! 李荣斌 于忠海 （上海电机学院材料成型与控制工程系，上海 !!#$ ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） !% ’ !% !( 借助于 势函数和分子动力学模拟技术研究了室温下 的能量粒子硼（个）和氮（个）共掺入金刚 )*+,-.. $ */ # ’ 石晶体中所引起的损伤区域内晶体微细观结构的变化特征以及后续加热退火晶体结构的演变特征0 结果表明：随 着掺入原子数目的增加，受影响的区域范围渐渐增大， 个粒子全部注入金刚石晶体后局部影响区域的半径达 ! ，损伤区域中心的三配位原子数增加而四配位数原子数量减少 加热退火过程中损伤中心区域的原子发生 1%’ 23 0 扩散，部分原子的扩散距离达到 个晶格间距 加热退火使损伤区域中心原子间的平均键长趋于金刚石结构的键 # 0 长 退火后薄膜中注入的杂质原子向表面扩散引起应力分布产生变化，杂质原子经过一系列的扩散过程能够到达 0 空位的位置，减少薄膜中空位数量，减小晶格畸变程度，原子向表面扩散引起应力产生重新分布，薄膜中应力峰值 的峰位向薄膜表面发生移动，局部应力集中程度降低 通过不同退火温度的比较发现低温下退火（ ）更有利于 0 ’4 空位的运动和晶格损伤的恢复从而提高晶格质量0 关键词：金刚石共掺杂，分子动力学，退火 ： ， ， #$$ %!5 %6) %67 响着金刚石向石墨的转变或在退火后返回到金刚石 结构 而受损伤金刚石结构转变为金刚石或石墨的 1 引 言 0 ［］ 退火行为依赖于扰乱区域周围邻近的缺陷密度! 0 金刚石是自然界中最为理想的半导体材料，然 因此，正确理解金刚石薄膜掺杂中的一些微观问题， 而，型金刚石掺杂的困难限制了金刚石在实际中 对于