纳米级人工超晶格多层膜的X射线广角衍射分析.pdfVIP

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2017-08-08 发布于重庆
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纳米级人工超晶格多层膜的X射线广角衍射分析.pdf

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纳米级人工超晶格多层膜的X射线广角衍射分析.pdf

27 4 Vol.27 No. 04 2002 8 Journal of KunmingUniversity of Science and Technology Aug. 2002 X 王耀东 ( , 650221) : 作者导出人工超晶格多层膜的X 射线衍射的几何光学图,得出多层膜的Bragg 方程, 并讨论因装放样而导致样轴偏心的精细误差消除步骤. 用普通广角X 射线衍射仪,在低角区得到纳米级单多层膜的调幅波长(厚度) 及周期. : 晶格;X 射线衍线; 多层膜 :TG 146. 3 :A : 1007- 855X(2002) 04- 016- 04 0 , .X ,X , [ 1,5] , , . , , , , , . D/ max- R , Ni Ni, Si . 1 X , Bragg : 2dsin= n ( 1) , , d , Bragg [ 2,3, 4] , . (1) :2002- 04- 09. :( 1972. 1~ ) , ,, ;:. 4 : X 17 1 ,A, B,A, B,A , , XXYY : QP- KR = PKcos- PKcos= 0 ( 2) (S, K,P, L, G) 1, 2P, L , 1P12L2: ML+ LN = sin+ sin= 2 sin ( 3) S,K , , , S L,P K , 12 x n , : n x = 2 sin ( 4) = n x/ 2sin ( 5) , x , n = 1, 2, 3, , 1, , , , 12n = 1, , 13n 2 3 x = 2, 14n = 3, 1 n n , , , , , , . , , ( 4) , , n , X , x , , , , . ABA AB NA , AB NA ,A A A A , , AB NA , n !2, , , n + 2. 2 1) ,JGP2000 . 2) : , : ( 1) . ( 2) , 1∀, 2, . d = - d ctg# ( 6) ( 6) , ctg, d, ( 6) , (