聚合物SU-8光刻胶超声时效实验研究.pdfVIP

第 卷第 期 ， ５０ ６ 大 连 理 工 大 学 学 报 Ｖｏｌ．５０ Ｎｏ．６ 年 月 ２０１０ １１ Ｎｏｖ．２ ０ １ ０ 　 ＪｏｕｒｎａｌｏｆＤａｌｉａｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔ ｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏ 　 　 　 　 　 　 ｙ 　 ｇｙ 　 檱 殗檱檱檱檱檱檱檱殗 ６３－６７ 、 ： （ ） 材料 机械工程 文章编号 １０００８６０８２０１００６０９０７０５ － － － 殗 檱 檱檱檱檱檱檱檱殗 聚合物 光刻胶超声时效实验研究 ＳＵ８ － ＊１ ２ ２ １ 杜立群 ， 王 煜 ， 王启佳 ， 陈 莉 　 　 　 　 　 （ ， ； 辽宁省微纳米技术及系统重点实验室 辽宁大连 １． １１６０２４ ， ） 大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室 辽宁大连 ２． １１６０２４ 摘要： ， 利用超声时效技术减小聚合物 光刻胶的内应力 讨论了其机理 以基片曲率法为 ＳＵ８ ． － ， 基础 建立了轮廓法测量 胶层内应力的计算模型 实验研究了超声时效技术在减小聚合 ＳＵ８ ． － 、 物 胶层内应力方面的作用 对比分析了超声时效实验前 后 胶层的内应力值 实验 ＳＵ８ ． ＳＵ８ ． － － ， ，