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维普资讯
物理化学学报(WuliHuaxueXuebao)
July Acta yS．一Chim．Sin．，2008，24(7)：1307—1312 1307
[Note] www．whxb．pku．edu．cn
镁合金表面微结构阵列的电化学微加工
蒋利民 程泽宇1 杜 楠 李 维 田中群 。 田昭武。
(南昌航空大学材料科学与工程学院，南昌 330063； 厦门大学化学化工学院，固体表面物理化学国家重点实验室，
福建 厦门 361005)
摘要： 研究了镁合金的约束刻蚀微加工方法．通过对电解过程中电极表面氢离子浓度变化以及刻蚀体系对镁
合金的腐蚀速率的测量与分析，对一些可能有刻蚀作用的刻蚀体系进行了研究．选用亚硝酸钠作为产生刻蚀剂
(硝酸)的前驱体、氢氧化钠作为捕捉剂、少量硅酸钠作为缓蚀剂的约束刻蚀体系，使用具有规整三维微立方体点
阵结构的模板，在金属镁表面加工出具有与模板互补特性的点阵微结构，复制加工的分辨率为亚微米级．并对刻
蚀过程机理进行了探讨与分析．
关键词：约束刻蚀剂层技术；镁； 三维微加工； 电化学
中图分类号：0646
Electrochem icalM icromachiningM icrostructureLatticeon
M agnesium AlloySurface
JIANGLi-Min CHENGZe-Yu DUNan LIWei TIANZhong-Qun TIANZhao-Wu
(SchoolofMaterialScienceandEngineering，NanchangHangkongUniversity，Nanchang 330063，PR．China；ZStateKey
LaboratoryforPh3，sicalChemistryofSolidSu咖ces，CollegeofChemistryandChemicalEngineering，XiamenUniversiyt，
Xiamen 361005，FujianProvince，P．R．China)
Abstract： Micromachiningofmagnesium alloybyconfinedetchantlayertechnique(CELT)wasinvestigated．The
variationofhydrogen ionconcentrationontheelecrtodesurfaceduringhteelecrtochemicalprocesswasexploredfor
somehtermodynamically available “etchant—scavenger”systems．and hteircorrosionratetomagnesium alloy was
measured．Aneffectiveelecrtochemi stry “etching—scavenging”system wasselected．UsingNaNOzasprecursorofr
elecrtochemi cally generating etchantHN03，Na0H asscavenger，and smallamountofNa2SiO3asinhibitor，3-D
microstructurelatticeonamoldwasreplicated
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