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超声波清洗技术的基础知识・ 2004 2004 年6 月5 日 柴野 佳英 社长 １序言 在此，我将阐述最新的超声波清洗技术。不过，在进入话题之前，请先允许 我明确一下我对清洗技术和环境问题的立场。 地球环境问题是21 世纪人类面临的最大课题和难题之一。中国拥有全人类最 多的人口、并且作为当今的世界制造工厂在不断发展。中国的环境问题也可以说 是地球的环境问题。清洗技术也是一种聚集、移动各种环境负荷的技术。这些环 境负荷指的即是由于人类的生存以及活动而产生的各种清洗对象物。因此，中国 产业发展所必不可少的清洗技术，同时也必须是符合环保要求的技术。如今的中 国所需要的清洗技术，必然是从以上观点出发的，有利于环保以及产业发展的综 合技术。我们必须牢记CFC 的历史教训。 ［中国所需要的并不是发达国家所用的陈旧的清洗技术。］ 我相信，只要理解正确的使用方法，进行有效利用的话，超声波清洗技术定 能成为伴随中国经济发展，同时有利于地球环保的[发展中国家的未来的技术]。 2 何为超声波清洗 近 20 年来，超声波清洗停滞发展，其一大理由在于人们对超声波清洗的基 本理解上存在误解。伴随着周边技术，例如搬运技术、计装技术、板金技术的进 步，根据用户的要求，超声波清洗系统得到了急剧发展。然而，超声波清洗技术 的基本内容，除了极少部分以外，并没有发生大的变化。即使外观、搬运技术发 生了变化，如果清洗技术本身没有彻底革新的话，超声波清洗技术也将无法顺应 时代的潮流。 为了充分应用新时代的革新的超声波清洗技术，有必要深刻理解为何超声波 清洗能够去除污垢，为何无法去除等原理，消除对于其原理的误解。 超声波清洗通过在液体中放射强力超声波，产生空洞（气穴）。然后利用气穴 在生成以及消失时的冲击力进行清洗。不产生气穴就不能称为超声波清洗。简而 言之，超声波清洗就是利用由超声波产生的气穴进行清洗的技术。因此，理解并 有效利用超声波清洗的基本条件就在于正确理解气穴、以及气穴生成、消失现象 （气穴现象）。 向液体中照射强力的 20KHz 以上的声波，即超声波。液体中的声压发生超过 一定程度的变化时，就产生所谓的气穴。气穴由大量真空核（微小气穴）构成， 其大小根据频率及声压变化程度不同而变化，作为应用性的气穴，大小约 100 微 米到10 来毫米。其形状也多种多样，可以大致分为气体星云型和球状星云型两种。 为了区别于非超声波声压变化产生的气穴，笔者将超声波产生的气穴称为 cavity （微小真空核群）。 气穴（微小真空核群）不断重复生成和消失过程。以下进行说明（25KHz）。 1）［发生阶段］正冲击波 [照片 1 ] [照片 2 ] 在初期（20 万分之 1 秒）的声压减压阶段中，气穴发生区会产生无数的雾状 微小真空核。微小真空核不断合并、成长，经过20 万分之3 到4 秒达到最大。形 似成熟的葡萄，互相紧靠，形成十来个微小真空核群。在此过程中，气穴区域中 的液体被高速排出。如果气穴外形为6mm，那么其外侧就有200m/sec 的液体移动， 从而产生冲击波。这种冲击波被称为正冲击波。气穴的大小（形状）以及液体移 动速度决定该冲击波的强弱。被包围在微小真空核之间的液体（空间）带高压。 这个阶段部分地决定了超声波清洗的洗净力。但是，如果只有单一方向的压力波， 有时候反而会使污垢更陷入清洗物。超声波清洗的特点在于下面的减压阶段。 2）［消失阶段］负冲击波 在减压阶段中，在不改变与气穴中心距离的情况下，成长的微小真空核群逐 渐缩小。经过约20 万分之6 秒后，微小真空核群消失。准确地说，与从产生到成 长到最大点的时间相比，消失的时间更短。与发生阶段相反，液体向着气穴中心 高速移动。根据观测，估计约为220m/sec。在20 万分之1 到2 秒内，微小真空核 间的液体减压、膨胀。然后集中经受高速高压的液体冲击波和紊流。在此工程中， 向着气穴中心的冲击波被称为负冲击波。这正是洗净力的源泉所在，也是超声波 清洗的特长。 3）［气穴的移动］ 清洗与扩散 如上所述，固体表面的污垢（清洗对象污染物质）在气穴发生阶段中被气