基于压电陶瓷的微进给平台的实验研究.pdfVIP

第7期 王海涛等：基于压电陶瓷的微进给平台的实验研究 209 精加工切削阻力的要求目。 在驱动电压 30V，60V，90V，120V分别测得位移偏差，如表 1 5基于微进给平台的试验 所示。从表中可以看出步长为 10V的迟滞位移偏差与其他步长 试验所使用的仪器设备为HPv—IC0150A0500型驱动电源、 的位移偏差相比为最小，说明其迟滞度最好。迟滞度是最大位移 DGC一8zG，C(轴向式)型电感测量头、DGS一6C型数显电感测微仪 偏差与输出位移的比值，是迟滞特性的表征。 和微动刀架。测量系统示意图，如图3所示。计算机发出指令使驱 表 1不同步长不同驱动电压的位移偏差 动电源对微进给刀架进行驱动，电感测量头则把检测到的位移传 输给数显电感测微移，从而得出电压一位移曲线。 5。3驱动电压的不同步长组合对迟滞特性的影响 在试验中采用了两种组合：(1)不同的升压步长分别为2．5V、 IOV、15V，相同的降压步长为 15V；(2)相同的升压步长 lOv，不同 图3微动刀架测量系统示意图 的降压步长分别为5V、15V、30V。驱动电压(o-15o)v。其迟滞曲 5．1电压一位移曲线的线性试验 线，如图6、图7所示。驱动电压分别为30V，60V，90V，120V时测 通过对微进给平台施3n(o～15o)v的驱动电压，测量不同电 得的位移偏差，如表2、表 3所示。 压下的输出位移和迟滞特性曲线 ，如图4所示。 吕 图4电压啦 移 曲线图 从如图4，中可以看出曲线在(30～70)V时，无论是升压曲线 昌 还是降压曲线 ，该段的线性度最好 ；其位移变化量为4．58um。可 0 满足作为微进给平台的使用要求。 疆 5．2驱动电压的不同步长对迟滞特性的影响 迟滞特 陛是压电材料的一个固有属性，表现为在驱动电压的 上升和下降阶段输出位移呈滞回环形式，并且在不同的电压范围 图7组合 2的迟滞曲线 内的滞回环各不相同。Chen等分析了压电作动器产生迟滞的原 表 2组合 1的位移偏差 因，认为当有电场作用时，晶体畴中电偶极子按最接近电场方向 排列，晶体极性发生变化，当作用电场去掉时，电偶极子并不立刻 回转至原来的位置，材料会保持一定的剩余极化 ，这种延迟导致 了迟滞特性的出现日。 试验采用了驱动电压步长分别为5V、10V、15V，驱动电压范 围为(O～15o)v。其试验迟滞曲线，如图5所示。 表 3组合 2的位移偏差 10 0 滟 5 0 从表中可以分析得出：在组合 1试验中，当驱动 电压一定时， 0 3O 60 9O 120 150 电压 (v) 位移偏差呈抛物线状；随着步长电压的增大，位移偏差在逐渐减 图5不同步长的迟滞曲线 小；在步长电压为 IOV时，其位移偏差最小；之后随着步长电压