真空-讲义.ppt

Straight-through valve Ball Valve Inline Valve Butterfly valve Variable conductance controller Leak valve 真空引入 4.4 真空引入 (1) 電引入( Electrical feedthrough ) (2) 機械引入( Mechanical feedthrough ) (3) 流體引入( Fluid feedthrough ) (4) 視窗( Window, view port ) 4.4.1 電引入 4.4.2 機械引入 1. 轉動機械引入 2. 鐵磁液體封合之機械引入 3. 線性運動之機械引入 4.4.3 流體引入 流體引入主要是焊接的問題，無電絕緣或機械動作等因素。真空技術中常使用液態氮，液體引入的焊接道必須承受高低溫的變化，因此易於出現裂痕。當液氮引入漏氣時，其處理較為麻煩，因為材料縮漲的作用，使得通入液氮時漏氣，但不易測漏，不通入液氮時似乎又是真空密封。 4.4.4 視窗 使用視窗可讓 我們由系統外面觀 察其內部情況，或 引導信號進入真空 系統內。 真空封合技術 2. 常用金屬簡介 304不銹鋼強度高，加工容易，可使用氬焊或 銀銅焊接合 (2) 無氧銅( OFHC )因為不含氧分子，所以逸氣量最低，常用於超高真空系統中，無氧銅可容忍很大的溫度變化，既可烘烤，又可在超低溫使用，而且熱電導性均佳，可使用銀銅焊或冷焊接合。 真空封合技術 真空封合技術的重要性： 真空系統不可能一體成型，通常包括了各種不同的形狀與材料之零件、組件，有時必需要更換現有元件，甚或使用時必須隨時開啟與關閉真空室，因此必須以各種封合方式加以接合，接合時最重要的因素為氣密性，也就是說必須是真空封合，漏氣率不能超過額定值。 真空封合的分類： (一) 永久性封合： 熔焊 銅焊 錫焊 玻璃與金屬接合 陶瓷與金屬接合 (二) 可拆卸接合 蠟，樹脂與黏著劑 彈性體襯墊封合 金屬墊圈封合 永久性封合 熔焊： 氬焊( TIG-Tungsten Inert Gas Welding )： 為最常用的永久性真空封 合方法，所製造之真空元 件適合用於高真空及超高 真空範圍。 電子束焊接( Electron-beam welding )： 特點是焊道深而窄， 焊接不易變形焊件材 料特性不改變，特別 適合薄板及細線形式 之焊接。 2.銅焊： 銅焊適合用於不同材料之 焊接，同時是陶瓷—金屬 接合的必要方法 可拆卸接合 1. O-ring：為可拆卸封合最常用的方式。 (1) 矩形槽( Rectangular groove ) (2) 梯形槽( Trapezium groove ) 或稱 燕尾槽( Dovetail groove ) (3) 錐形壓縮封合( Conical compression seal ) (4) 襯墊封合( Spacer seal ) 快速接頭之組件 (5) 滑動或轉動軸之O-ring封合( Sliding or rotating shaft O-ring deal ) 金屬墊圈封合：只有在需求壓力小於10-8torr之情況使用金屬墊圈封合，此時系統必須烘烤至300 ~ 400℃，O-ring已不適用。 (1) 平面式封合( Planar seal ) (2) 角封合( Comer seal ) (3) 卡環法蘭封合( Wheeler seal ) (4) 矩形墊圈封合( Coined gasket seal ) (5) 階式封合( Step seal ) (6) 刀刃封合( Knife edge seal ) (7) 斜楔法蘭封合( Conflat flange seal ) 金屬密合之示意圖 目前使用最廣泛，特點為 封合時，無氧銅墊圈向外 擠壓時被法蘭頂住，法蘭 進一步迫緊時，其反向之 力量在刀刃面造成很大的 機械迫力。 真空閥門 4.3 真空閥門 基本構造： 粗抽及高真空用閥門 1. 粗抽及前級閥門 2. 高真空閥門 4.3.2 進氣閥門 1. 開關式閥門 2. 微調式漏氣閥門之針閥( Needle valve ) 閥門的開關 Rectangular valve Right-angle Valve 第六章 真材料、密合、封入 授課教師：黃? 俊? 傑 ? ? ? ? Outline 真空用材料 真空封合技術 真空閥門 真空引入 真空用材料 真空材料選擇材料 一個真空系統所使用的材料包括金屬，玻璃，陶瓷以及一些特殊橡膠。 要求的特點有 足夠的機械性質阻擋內外壓力差 足夠