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第 12 届中国光伏大会暨国际光伏展览会论文 论文所属主题—— 先进太阳电池：新概念、新材料和新结构（纳米太阳电池、有机太阳电池、染 料敏化太阳电池等） 硅纳米线结构微晶硅薄膜太阳电池硅纳米线结构微晶硅薄膜太阳电池 硅纳米线结构微晶硅薄膜太阳电池硅纳米线结构微晶硅薄膜太阳电池 谢小兵、谢小兵、曾湘波曾湘波、、杨萍杨萍、、李浩李浩、、李敬彦李敬彦、、王启明王启明 谢小兵谢小兵、、曾湘波曾湘波、、杨萍杨萍、、李浩李浩、、李敬彦李敬彦、、王启明王启明 中国科学院半导体研究所 集成光电子学国家重点联合实验室，北京 100083， 电子邮箱：xbxie@semi.ac.cn 摘要：摘要：采用 PECVD 技术在不锈钢柔性衬底上制备出硅纳米线结构微晶硅太阳能电池，硅纳米线 摘要摘要：： 形貌、微结构和光学特性分别由电子扫描显微镜和反射谱表征。通过对电池的电流- 电压（AM1.5 ） 2 以及外量子效应的测量，获得0.37V 的开路电压以及 13.36mA/cm 的短路电流。通过对硅纳米线进 行酸处理等优化后，电池的开压 Voc 由0.37 V 增加到 0.48 V，提高幅度高达30%，我们对Voc 提 高的机理进行探究。 关键词：关键词：硅纳米线；柔性衬底；微晶硅；太阳电池 关键词关键词：： 1 引言1 引言 光致衰退效应，使得电池的稳定转化效率的提 1 1 引言引言 高受到限制。为此，我们选择了稳定性较好的 随着传统能源的日渐枯竭以及生态环境的 微晶硅作为本征层，获得了纳米线微晶硅径向 逐渐恶化，绿色可再生能源将是解决能源与环 n-i-p 结构电池。 境危机的关键。太阳能作为地球上储备最丰富 2 实验2 实验 的清洁能源之一，成为人类利用的首选，因此 2 2 实验实验 如何获得低成本、高效率的太阳能电池得到世 界研发人员的关注。 图 1 所示为纳米线微晶硅径向 n-i-p 结构电 池的示意图。制备流程为：先在洗净的不锈钢 硅作为地球丰度第二的元素，奠定了硅在 薄片衬底上，用磁控溅射一层 掺锡氧化铟 光伏材料中的重要地位。而硅纳米线由于其低 （Indium Tin Oxides —ITO) 。然后将覆盖有ITO 反射、强吸收的光学性质[1-2]和高载流子迁移 的不锈钢衬底放入到 PECVD 中进行 H 等离子 率的电学性质[3]，使得硅纳米线已成为光伏材 体处理（实验参数见表 1 第二列），处理之后在 料的有力候选者[4-8]。纳米线电池基本可分为 不锈钢表面得到 In 的纳米颗粒。H 处理完成之 -3Pa 量级的本底真空， 后，PECVD 腔室抽到 10 两类结构：一类是沿线长度方向形成 pn 结[9]，