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2015-07-20 发布于安徽
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CdS薄膜的光学及其电学性能地研究.pdf

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第 24 卷　第 2 期真　空　科　学　与　技　术　学　报　　　　　　　　　　 ( ) 　　　　　　　　　　　　　　 2004 年 3 、4 月 VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY CHINA 125 CdS 薄膜的光学及其电学性能的研究何智兵　韩高荣 (浙江大学材料系 ,硅材料国家重点实验室　杭州　310027) Optical and Electrical Properties of CdS Films He Zhibing and Han Gaorong ( ) Material Department , Zhejiang University , Hangzhou , 310027 , China 　　Abstract 　Optical and electrical properties of CdS films grown by vacuum deposition at different substrate temperatures ,including its transmittance ,its optical band gaps and its transversal and inplane resistivites ,were studied with conventional techniques. The results showed that the CdS film had a hexagonal structure with a preferential growth orientation of 〈002 〉. Large difference between transversal and inplane resistivities was also observed. 　　Keywords 　CdS ,Preferred orientation ,Vacuum evaporation ,Photosensitivity 　　摘要　本论文研究了真空热蒸发制备的不同衬底温度下 CdS 薄膜的光学及电学性能。重点讨论了不同衬底温度下 CdS 薄膜的光透过性能、光学带隙及其和薄膜结构的关系。研究了 CdS 薄膜因高度定向生长而出现的薄膜平面与截面电阻率的差别。进一步阐释了 CdS 作为理想的光电材料所具有的良好光敏性 ,探讨了 CdS 薄膜的这些电学性能随衬底温度的变化规律及其与薄膜结构的关系。关键词　CdS 　择优取向　真空蒸发　光敏性 + ( ) 中图分类号:TN 3042 5 　　　文献标识码 :A 　　　文章编号 2004 　　Ⅱ Ⅵ族半导体材料 CdS 薄膜因其具有优良的 1 　实验光电性能和广阔的应用前景 ,一直受到人们的极大关注。CdS 薄膜在太阳能电池、传感器、光探测器、　　在北京仪器厂生产的 DMD450 光学镀膜机上激光材料、光波导器件和非线性集成光学器件等领制备了不同衬底温度的 CdS 薄膜样品。衬底温度从域