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第36卷，增刊 红外与激光工程 2007年9月
V01．36 InfraredandLaser Sep．2007
Supplement Engineering
光学读出热成像焦平面阵列的制作技术
冯飞，李珂，杨广立，闰许，熊斌，王跃林
(中国科学院上海微系统与信息技术研究所，上海200050)
摘要：光学读出热成像是一种新型的红外成像技术，它基于双材料效应和光学原理实现像转换
与像增强，具有高性价比的潜在优势。光学读出热成像焦平面阵列由可动微镜阵列构成，其制作技
术是光学读出热成像技术的重要研究内容之一。目前，国内外的研究者已发展了基于表面微机械、
体微机械以及表面／体微机械工艺的3种制作技术，前两者各有优缺点，而基于表面产涔硅微机械工艺
的制作技术则兼顾了前两者的优点。
关键词：光学读出热成像； 焦平面阵列； 微机械工艺
中图分类号：TN215文献标识码：A
Fabricationof readablethermal
technologyoptically imaging
focal ．
planearray
FENG Yue—lin
Fei，LI Bin，WANG
Ke，YANGGuang—li，YANXu，XIONG
readablethermal novelinfrared basedon
Abstract：Optically imaging，a imagingtechnology
bimatedaleffectand meritof
opticalprinciple，haspotential highperformancepriceratio．Optically
readable ofmovableIIlicromirror
thermal focal
imagingplanearray(OR—TI-FPA)consists array．The
fabrication ofOR—TI—FPAoneofthe research threefabrication
technology is important subjects．Now
of arebasedonsurface and
OR—TI-FPA，which
technologies micromachining，bulkmicromachining
surface／bulk been formertwo havetheirmerits
developed．The
micromachiningprocess，have technologies
and thelattercombinesthemeritsoftheforme
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