基于正交试验Ti033Al067N膜层制备工艺的的研究.pdfVIP

《热加工工艺》2013年7月第42卷第14期 基于正交试验Tidl峋N膜层制备工艺研究 张会霞1．刘崇林2 (1．淮海工学院机械工程学院，江苏连云港222005；2．江苏科技大学材料学院，江苏镇江212003) 多弧离子镀中的工艺参数进行优化，通过观察膜层结合力、表面形貌、显微硬度和膜层厚度选择最佳的工艺参数。 关键词：多弧离子镀；Tin33Alo67N；正交试验 中图分类号：TGl74 文献标识码：A 文章编号：1001-3814(2013)14．0113．02 on Processof Basedon StudyPreparation TkAk斟Film Experiment Orthogonal ZHANG Huixial．L