扫描电子显微镜(ScanningElectronMicroscope)基础知识.docVIP

扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope)基础知识 ?xjH实验测试信息网 ??? ?粒，成像信号可以是二次电子、背散射电子或吸收电子。其中二次电子是最主要?的成像信号。由电子枪发射的能量为 5 ～ 35keV 的电子，以其交?叉斑作为电子源，经二级聚光镜及物镜的缩小形成具有一定能量、一定束流强度?和束斑直径的微细电子束，在扫描线圈驱动下，于试样表面按一定时间、空间顺?序作栅网式扫描。聚焦电子束与试样相互作用，产生二次电子发射（以及其它物?理信号），二次电子发射量随试样表面形貌而变化。二次电子信号被探测器收集?转换成电讯号，经视频放大后输入到显像管栅极，调制与入射电子束同步扫描的?显像管亮度，得到反映试样表面形貌的二次电子像。xjH实验测试信息网 　?　xjH实验测试信息网 xjH实验测试信息网 (1) 0 ～ 30mm的大块试样(在半导体工业可以观察更大直径)，制样方法简单。xjH实验测试信息网 (2) xjH实验测试信息网 (3) 15 ～ 200000 倍，对于多相、多组成的非均匀材料便于低倍下的普查和高倍下的观察分析。xjH实验测试信息网 (4) 3.5 ～ 6nm。xjH实验测试信息网 (5) xjH实验测试信息网 (6) X 射线谱仪配接，可在观察形貌的同时进行微区成分分析；配有光学显微镜和单色仪等附件时，可观察阴极荧光图像和进行阴极荧光光谱分析等。xjH实验测试信息网 (7) xjH实验测试信息网 ?xjH实验测试信息网 xjH实验测试信息网 1.xjH实验测试信息网 2.xjH实验测试信息网 3.xjH实验测试信息网 4.SEM采用显象管、照相机等。数字式SEM采用电脑系统进行图象显示和记录管理。xjH实验测试信息网 5. 10 -4 Torr 。常用：机械真空泵、扩散泵、涡轮分子泵xjH实验测试信息网 6.xjH实验测试信息网 ?xjH实验测试信息网 xjH实验测试信息网 1. M=L/l xjH实验测试信息网 2.xjH实验测试信息网 ?xjH实验测试信息网 3.xjH实验测试信息网 ?xjH实验测试信息网 ?xjH实验测试信息网 xjH实验测试信息网 1xjH实验测试信息网 ?蚀，才能暴露某些结构细节，则在侵蚀后应将表面或断口清洗干净，然后烘干。对磁性试样要预先去磁，以免观察时电子束受到磁场的影响。试样大小要适合仪器专用样品座的尺寸，不能过大，样品座尺寸各仪器不均相同，一般小的样品座为Φ3～5mm，大的样品座为Φ30～50mm，以分别用来放置不同大小的试样，样品的高度也有一定的限制，一般在5～10mm左右。xjH实验测试信息网 2xjH实验测试信息网 ?xjH实验测试信息网 3xjH实验测试信息网 xjH实验测试信息网 4xjH实验测试信息网 ?离子溅射时常用的气体为惰性气体氩，要求不高时，也可以用空气，气压约为 5 X 10 -2 Torr 。离子溅射镀膜与真空镀膜相比，其主要优点是：（ 1 ）装置结构简单，使用方便，溅射一次只需几分钟，而真空镀膜则要半个小时以上。（ 2 ）消耗贵金属少，每次仅约几毫克。（ 3 ）对同一种镀膜材料，离子溅射镀膜质量好，能形成颗粒更细、更致密、更均匀、附着力更强的膜。xjH实验测试信息网