193nm大能量激光剥蚀进样系统.doc

193nm大能量激光剥蚀进样系统 招标参数 设备名称 激光剥蚀系统aser ablation sample-introduction system）。 设备数量 一套。 主要构成 整套设备应包括：激光器；光路系统；观察系统；样品剥蚀系统；图像采集、处理和控制系统等； 环境温度：20(C(5(C。 相对湿度：80%。 电压：220 V ((10%)单相或 380 V ((10%) 三相, 50Hz ((1)。 冷却系统：风冷或者水冷。如果水冷，要求投标者提供适合仪器正常工作的静音水循环冷却系统。 仪器运行的持久性：可连续运行。 技术规格与要求 本技术规格书中标注“*”号的为关键技术参数。 激光器 *激光器为准分子激光器 参数：脉宽0ns，波长193nm，最大输出能量200 mJ，激光频率1至≥ Hz，且可连续在线调节。 *剥蚀池出口应具有可与ICP-MS接口相应的装置。 样品剥蚀池应具有操作（包括换样及载气更改）方便，能够进行薄片以及普通SHRIMP样品靶的装样能力。应配气溶胶混匀装置99%的信号本底清除小于2秒 光路系统 具有气密性，可吹扫N2配相应流量计、气路减压阀 具有能量密度检测装置，可实时监控能量密度。 可通过高分辨率CCD观察系统、外置彩色监视器（High Quality 24 LCD TV Monitor或更新型号）和显示器进行观察和定位。具有工业级操纵杆装置。 *观察光路的最佳焦面应与激光光路的焦面相同。 图像数据采集、处理与控制系统 5.1.5.1 操作软件 *可以实现与MC-ICP-MS仪器（Nu Plasma II或Neptune Plus）以及市场上主流四极杆ICP-MS（如ThermoFisher、Agilent、PerkinElmer等品牌）仪器的互控，并具有相应的触发装置，从而实现联机LA-MC/Q-ICP-MS自动分析。 激光剥蚀定位功能：可以储存(100个定位点。 不同剥蚀功能：线扫描、点剥蚀、多点剥蚀、面扫描等。 自动分析与远程控制功能：能够对预先储存剥蚀点位进行自动分析，并能 激光剥蚀诊断与控制功能：显示激光剥蚀系统的工作状态并控制各部件运行，具有仪器错误提示功能。 样品重合与定位功能：能够将预先扫描的样品图片与实际观察的样品重合以方便定位剥蚀。 主流商用电脑一台。 CPU型号为i7-4930K（3.4 GHz）或更优型号，内存容量≥8 G（），独立显存≥2 G，SATA硬盘≥2 T，显示器≥24〞LCD（分辨率1080p以上）。 配备DVDR/W。 配备多功能一体彩色激光打印机(双面打印、网络打印功能)一台。 英文版微软正版Windows7操作系统, 最新版英文正版微软 Office（Professional Edition）办公软件。 单脉冲能量：200 shots（1Hz）能量稳定性应在2％以内（1 (）。 激光频率：1至≥ Hz，且可连续在线调节。 剥蚀坑尺寸：具有从2至≥160μm范围内连续或分档调节能力。 *能量密度：μm）条件下，达到样品表面的能量密度均需满足最高≥30J/cm2，能量密度数据必须是在样品池位置实际检测所得。 剥蚀坑质量：形状为完美的圆形，以NIST 610、锆石和石英为准，SEM图像观察剥蚀坑轮廓清晰，直壁、底部平底，无明显的壁部不均匀和底部不均匀现象。 测试方法依次从最小斑束至最大斑束以激光剥蚀能量密度7、10、15和20J/cm2剥蚀10和100shots，显微镜及SEM下观察剥蚀坑壁及底部的情况应为平底，且平滑、无毛刺或熔融情况发生。 有效剥蚀：可对样品（NIST610-614、锆石GJ-1、石英、石榴子石、单斜辉石、萤石、熔体/流体包裹体等）进行有效剥蚀，剥蚀坑质量应达到5.2.5要求。 样品台控制精度：0.5μm。 测试方法： 把样品台沿X方向移动4cm，来回10次，最终回到起始点，偏差μm。 把样品台沿Y方向移动4cm，来回10次，最终回到起始点，偏差μm。 把样品台沿Z方向移动2cm，来回10次，最终回到起始点，偏差μm。 把样品台沿X、Y方向各移动4cm，来回10次，最终回到起始点，偏差μm。 把样品台沿X、Y方向移动4cm，Z方向移动2cm来回10次，最终回到起始点。测量回到起点的位置偏差μm。 辅助功能配件 载气系统 双气流控制： 具有精确He控制载气流量的质量流量计（0-1000mL/min）。 具有N2流量计1-10mL/min。 图像系统 6.2.1抓图功能：具有抓图功能。 6.22动态摄像功能：可以连续摄像10分钟以上。 6.2.3图片定位：可导入预先扫描好的样品图片，并与实际观察样品重合定位。 样品台 观察系统配偏光观察装置。 配年备件（列明细清单数量）。 仪器维修工具包一套，193nm激光防护眼镜2个，擦拭纸2包，镜片清洗液5