劈刀安装长度对引线键合强度影响的实验研究.pdfVIP

维普资讯 第30卷第4期 压 电 与 声 光 VoI．3ONO．4 2008年8月 PIEZ0ELECTECTRICS ACOUSTOOPTICS Aug．2008 文章编号 ：1004—2474(2008)04—0414-03 劈刀安装长度对引线键合强度影响的实验研究 姚 钢 ，韩 雷 (中南大学 机电工程学院，湖南 长沙 410083) 摘 要：在超声引线键合中引线键合质量受到多种因素的影响。该文通过实验，观察 了超声引线键合过程中 不同劈刀安装长度对引线键合质量形成 的影响，同时对引线键合过程 中换能系统 电流、电压及功率进行 了分析 ，发 现不同劈刀安装长度会导致引线键合质量、电流及功率较为明显的变化 。该实验 的结果可为实际引线键合 中劈刀 安装长度的选择提供参考 。 关键词 ：劈刀安装长度 ；超声引线键合 ；键合强度 中图分类号：TN407 文献标识码 ：A StudyontheEffectofDifferentM ountedLengthofCapillaryto W ireBondingStrength YAO Gang，HAN Lei (CollegeoftheElectromechanicalEngineering，CentralSouthUniversity，Changsha410083，China) Abstract：Manyfactorswillinfluencethebondingqualityinultrasonicwirebonding．Thisarticlediscussedthe influenceonthebondingqualityatdifferentcapillarymountedlength conditions．Experimentresultsalsoshowed thatbondingstrength currentandvoltagewoulddifferatdifferentmountedlengthofthecapillary．Theresultsof thisarticlemightbereferencefortheselectofthecapillarymountedlengthinultrasonicwirebondingprocess． Keywords：mountedlengthofcapillary；ultrasonicwirebonding；bondingstrength 引线键合 以工艺实现简单 ，成本低 ，适用于多 板为表面镀银铝板 ，尺寸 为 20mm ×50mm × 种封装形式而在芯片级互连 中占主导地位。 目前 0．3miD_。数据采集由PsV一400一M2激光测速仪采集 90 以上的芯片使用引线键合n]。超声 引线键合 卡及虚拟仪器专用软件 Labview完成 ，对键合全过 工作原理是换能系统将超声发生器产生的高频电信 程进行监测。 号转换成高频振动，经变幅杆将高频振动传递到劈 测力装置 由SN一10测力计改装而成 ，量程 0～ 刀 ，引起劈刀振动 ；同时，金属丝在劈刀振动 的带动 1000g，精度 1g。采用剪切力测试作为键合强度 下与基板摩擦 ，表面氧化层被破坏 ，暴露出洁净的金 的评判标准，测力时均由键合点侧 向施加推力 ，如图 属表面，在压力作用下，超声能量被金属丝吸收并实 1所示 。 现与基