激光干涉测量..docVIP

激光干涉测量技术的发展及现状调研报告 一、激光干涉基本原理 激光输出可被视为正弦光波 激光检测学科发展现状在光电检测领域，利用光的干涉、衍射和散射进行检测已经有很长的历史。由泰曼干涉仪到莫尔条纹，然后到散斑，再到全息干涉，出现了一个个干涉场，物理量（如位移、温度、压力、速度、折射率等）的测量不再需要单独测量，而是整个物理量场一起进行测量。自从激光出现以后，电子学领域的许多探测方法（如外差、相关、取样平均、光子计数等）被引入，使测量灵敏度和测量精度得到大大提高。用激光检测关键技术(激光干涉测量技术、激光共焦测量技术、激光三角测量技术)实现的激光干涉仪、激光位移传感器等，可以完成纳米级非接触测量。可以说，超精密加工技术将随着高精密激光检测技术的发展而发展；在此基础上，提出了激光测量需解决的关键技术及今后的发展方向 激光干涉在位移测量中的应用 布朗布维尔干涉仪的工作原理如图2-14所示。从激扩光器1发出的平行光束，经望远镜系统2束分，被镀有半透反射膜的分光镜3成两路，分别投射到可动角锥棱镜9和固定角锥棱镜10上。再经分光镜3会合的两支光束投射到棱镜6上，棱镜6按波阵面把光束分成两部分。在光电接收器4与8前，安装两个光阑5与7，把干涉条纹分成两部分，相互间错开0.25条条纹宽度。为了使干涉光束之间形成某个楔角，从而达到所要求的条纹宽度和方向，采用楔形板11。反射镜13和毛玻璃12构成目视窗，用于调整仪器时观察干涉条纹。这种激光器望远镜系统分光镜一光电接收器干涉仪的特点是： 从干涉仪出来的光束，不会返回到激光1中，从而保证了激光器的稳定工作。 由于激光具有高单色性，因此在干涉仪的光路中，不需要一般迈克尔逊干涉仪都有的 用于补偿两支光路中玻璃厚度不相等的补偿板。 由于激光具有很小的发散性，在干涉仪的两支光路不相同的情况下，干涉图样对比度 还是很好的。在该干涉仪中，可动角锥棱镜9的位移量可通过数字读数0.1μm，最小读数值测量范围为1m。 激光干涉在角度测量中的应用 小角度测量系统的结构如图3-13所示，图中玻片3用于调整0光与e光强度平衡，透 镜的数值孔径根据测量灵敏度由式选择。反射面由两块反射镜组成，其中与压电陶瓷连为一体，可作高频振动。反射光经原路返回，在透镜焦面会合，成为椭圆偏振光，经波片变为线偏振光。其偏振方向为（推导从略） 式中，则。即光程差变化一个波长，相位变化，线偏振光方位角转过，条纹变化一个周期。 当反射面有一个角位移θ时，合成偏振光光程差变化，经检偏器可观察到干涉条纹的变化，检出条纹变化量即可得知角位移量。 光线基准双频激光干涉法 测量原理如图所示。两束偏振面相互正交、频率为和的激光束经分光组件1射向渥拉斯顿棱镜2，渥拉斯顿棱2将和两束光分开成夹角射向双面反射镜3，双面反射镜的夹角为补角，即光束和垂直射向双面反射镜的两个面，然后光束从双面反射镜返回到渥拉斯顿棱镜上会合，再由分光组件返回进行拍频、接收、计算机处理等。当渥拉斯顿棱镜固定不动，双面反射镜沿被测表面x向移动时（或反之，双面反射镜固定不动，渥拉斯顿棱镜沿被测表面移动时），如果双面反射镜在y向无位移，仪器显示值不变；如果被测表面不平，则当双面反射镜沿x向移动时，将同时有 y的位移，则此时和两路光光程不等，仪器显示值便有变化。 5、 共模抑制干涉仪 He-Ne激光器发出的线偏振光经扩束、 准直，透过半波片和分光棱镜BS进入测量头。该测量头由两部分组成，一部分为双焦透镜分束器L，它由一块束器石英凹透镜和两块玻璃凸透镜胶合而成，石英晶体光轴设计成与透镜轴垂直，通过合理选择三透镜参数，使分束器对O光（寻常光）光焦度为正，对e光（非寻常光构）的光焦度为零；测量头的另一部分为 、成的开普勒望远镜系统。平行线偏振光（旋转半波片可改变偏振方向）进入该测量头后，被分成两束（彼此同轴的o光和e光），其中e光成平行光垂直照射到被测表面，o光被会聚于被测表面上某一点。两束光在被测表面反射后沿原路返回，经双焦透镜分束器后合成为一椭圆偏振光，它经BS反射后，被分光棱镜BS分成两部分，各自经过检偏器P、 P后相干涉。  存在的问题 稳定激光的工作环境。保证系统有一个好的工作环境，特别是从保证激光频率稳定角度出发，要保证系统的工作环境相对稳定。 比较国内外开展激光检测研究与应用的现状： （1）技术上—— 在高精度、自动化方面尚与国外有一定差距。国内开展的工作面不如国外广泛，但所做工作也不少，而且技术上尚比较先进，有些方面还是可比的。 （2）应用上—— 周内应用类别不少。但由