45GHz+ECR+等离子体源.pdfVIP

2．45GHz ECR等离子体源’ 孙官清刘仲阳 张大患辣剑宣钟光武” 0064 四川大学原予核科学技术研究所成都61 教育部辐射物理与技术开放实验室 摘要：本文简要描述了一台凝率为2．45GHz的电子回旋共振(ECR)等离子体源的特性 测试，表明放电室内的等离子体密度和电子温度与静态磁场、微波输入功率和真空度等 参数均有着密切关系．当碰场达到共振条件87．5mT，等高子体很易产生，但等离子体密度 的最大值却出现在93mT处．ECR源在真空度0．i一1 Pa问均能运行．由石英、^l，01 陶瓷和BN构成的微波输入窗有良好的阻抗匹配，在微波功率200—700WN，反射系数 x 2 仅为1％，等离子体密度达5．810儿cm～，电子温度为3～1eV，该源的寿命超过300 小时． 关键词：电子回旋共振等离子体深 特性 一．引 言 电子回旋共振(HCR)等离子体源在低温等离子体增强化学气相沉积、离子注入和金刚 石薄膜制备等离子体和离子束技术的许多领域有着广泛的应用．EcR探具有无热阴极、 电高度高、可忽略放电室壁的散射。适合腐蚀性气体，能在低真空度下工作，性能稳定 和寿命长等特点． 为了开展等离子体化学气相沉积(CVD)等工艺的研究。我们研制了一台ECR高子源．本 文简要描述EcR离子源的主要特性，等离子体密度和电子温度与磁场、微波功率、真空 度等运行参数的关系． 二．ECR源的结构 ． 一图1．为电子回旋共振ECR源的示意图．ECR源的等离子体放电室是一只直径为 7．6cm，长度为1 0em的不锈钢园简．两个磁场线圈套在放电室外，分别单独供电产生 l200rot左右的轴向磁场，改变澈磁电流，可改变沿轴向磁场的分布与形态．微波电源频 率为2．45GHz，功率可连续改变至IWW，由矩形波导经微波输入窗进入等离子体放电室， 入射和反射功率采用方向藕合器监测，并装有带假负载三环器，以防止反射功率对磁控 蕾的损害，在EcR琢的下端是一个客积很大的真空室，其四周开有几个孔道供输气、放 置样品、测试等离子体或离子柬和观察之用．当ECR耀工作在等高子体柬状态，放电室 引出口采用5em直径的限制环；若工作在高子束状态时，则采用带孔的栅网引出系统． ·田跨抖工羹重研曩目 ．．挂工生西膏■毫研兜院 7 三．ECR源的特性 ECR等离子体薄的主要参数采用Langmuir探针测量．探针的表面与放电室轴向磁 场相垂直，并沿轴线上下移动．实验表明，ECR舔的等离子密度、电子温度和离子柬流 等主要参数与真空度(气流量)、微波功率，磁场和微波输入窗均有密切关系． 3．1等离子体密度、电子温度与磁场的关系 磁场对ECR源等离子体密度、电子温度起着十分重要的作用．两个线圈沿轴共同产 A，下 生的磁场采用核磁共振校准的Hall探针进行测量．图2表示上线圈电流为60 0 线圈电流为7 A时磁场沿轴线的分布． —————、 ．／ { ＼ 臼 { 耋 § ： ：