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光信息存储与真空技术 戎霭伦 (北京航空航天大学理学院非晶态物理与光信息研究室 北京100083) 摘要任何一种DVD光盘都是由信息记录层、介质保护层、金属反射层……等薄膜组成的二层、 三层或多层光匹配的薄膜体系。不同膜系要用不同的真空淀积技术制备，各制备单元最终连成完 整的光盘生产线。本文着重论述各类光盘薄膜材料的真空淀积技术和相应的生产线，旨在探讨光 盘生产线国产化的前景。 关键词 光存储 数字通用光盘 信息载体 V!， 1．引言 (1)信息技术是21世纪的关键技术，信息产业是21世纪的支柱产业。信息技术的发展在20 世纪是基于电子学向光电子学发展的阶段；在2l世纪是由光电子学向光子学发展的新阶段。两个 阶段的根本区别是信息载体和能量载体将由带负电的电子，即费米子转变为不带电的光子，即玻 色子。光存储就是信息载体为光子的存储，它可以进入到电子载体所不能进入的超高密度、超快 速率以及并行输入／输出、高度互连的领域。信息革命的内容正是以信息载体的转变为基点而展 开，见表I。 表 1 信息革命内容 20世纪——电子学世纪 21世纪——光子学世纪 信息载体 电子(带电、费米子) 光子(中性，玻色子) 信息存储 磁存储 光存储 信息传输 金属导线，无线电波(高度空间局域 光纤，自由空间(无空间局域 性) 性) 信息运算 电子计算机，电计算 光子计算机．光计算 信息处理 微电子技术 光子技术 ·电子开关(10-10秒) +光开关(10_12秒) ·大规模集成电子回路EIC ·大规模集成光子回路PIC versatile ， disk)的缩写。从存储功能讲，它和CD光盘类 (2)DVD是数字通用光盘(Digital 似，也分为只读、可录及可直接重写三个档次。但它是图形、图像、语音、文字的全数字量存储， 采用MPEG2数据压缩软件。因而存储密度、图像分辨率及保真度都优于CD盘。从生产角度看， DVD类光盘与CD类光盘成本相差不大，但由于DVD类光盘的性能价格比远优于CD类光盘， 以直径为中120nml的盘片为标准。7}‘部列出相应的生产线及其优化组台。 (3)光盘中所用的薄膜都是功能薄膜材料，它的真空淀积技术见表2，其中黑体字表示目前DVD 类光盘中的薄膜所用的淀积技术。一般地讲，金属性强的薄膜材料用直流磁控溅射淀积；不导电或半 导电的介质薄膜用射频磁控溅射淀积；有机染料薄膜则用旋涂法制备。 一28～ 50 40 20 ， 10 5 065 功能 墓蚕茎 优化组合 DVD--ROM 1 DVD—video} WDVD—RAM DvD—AudioJ tamper 图1 DVD与CD容量对比及DVD生产线的优化组合 2．DVD光盘母盘生产线 预母化单元、母盘生产线及模板生产线，如图2所示。其中母盘生产包括光刻胶_【毡胶、烘干、光 刻、显影