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紧凑型强流微波离子源 崔保群蒋渭生 中国原子能科学研究院 北京275信箱27分箱102413 摘要 本文描述一台紧凑型强流微波离子源，共振磁场由一个小的电磁线圈及软铁回 路产生，离子源～方面具有紧凑轻巧的特点，另一方面线圈产生的可调磁场能使得放电 处于最佳条件。实验研究了气压，放电功率及菇振磁场对放电及引出的影响。初步的实 90mA／ 验在600W的放电功率下，从直径4m引出孔引出了35ⅢA的离子流(J=2 cm2)，引出离子的质子比超过9096。 关键词： 微波离子源加速器质子比 一·前言 微波离子源具有高电离效率、低发射度、长寿命、气耗量小等优点，对于H2的放 电还能获得高的质子比“，在加速器、离子注入机等离子束设备中获得了越来越多的应 用。产生微波离子源的共振磁场一般有两种方法，一种是利用永久磁铁及相应的铁回路 来产生相应的磁场，另一种采用电磁线圈来产生要求的磁场。前者结构紧凑，源的重量 和尺寸都可以做的比较小，但磁场不可调，而且要产生精确的共振磁场也比较困难。后 者磁场调节比较方便，但通常磁场线圈占据比较大的空间。本文介绍我们研制的～台微 波离子源，其磁场可由一个小的电磁线圈和软铁回路共同产生，一方面保持了源紧凑轻 巧的特点，同时又可以调节共振磁场，方便了离子源的操作运行。 ． 二·离子源 图一是离子源的结构示意图。镬渡系 波导测量段调谐段 脊泼导 放电室 统由～个2．4N；Hz的磁控管，三螺钉调谐 器，反射波监控器组成。2．45GHz工作频 率的磁控管及波导为标准产品，容易获 得。三螺钉调谐器用来调整微波的传输， 减3、反射。一段脊波导用来匹配波导和放 电室的阻抗。真空密封由位于脊波导和螺 旋调谐器之间的AL2侥陶瓷窗完成。紧接着 图一． 离子源结构示意圈 脊波导的是一段波导管组成的放电区，其 中一个宣径5，4cm，长3．3cm的石英玻璃筒一端由一个BN薄片与脊波导壁相隔，另一 端与离子源的出口扳相连，它们一起构成了放电室。蹦用来阻挡等离子体的扩散，同 时可以阻挡高能二次电子对微波窗的轰击。一个石英管将气体送进放电室内。离子源所 用共振磁场南如图二所示的磁铁结构产生。两块软铁沿脊波导形成一个磁极，软铁制成 的出口板形成另一个磁极，他们组成的回 路可产生共振所需的磁场，采用电磁线圈 励蠢藏瞳 冀镌 出口校 和软铁组成的回路一方面可以减少所要求 的励磁功率，另一方面减小了离子源所要 求的电磁线圈的尺寸。一个水冷的小励磁 线圈可以产生足够的共振磁场。由脊波 导，电磁线圈及铁回路，电离室及安装法 兰组成的离子源，其重量仅为12kg，拆卸 根方便。 圈二 离于瀑撤扶培柚示意圈 我们测得的典型轴向磁场分布如图三 所示。出口板内侧对应0m，软铁极头处 为35m，磁场在放电空间近似为均匀场，靠近引出孔处场略小。 图三．高子j孽放电室磁场分布 图四．磁场对放电的影响 实验在一个离子源实验台架上进行，它包括分析磁铁，发射度测量装置及束流测量 装置等。它能够用于离子束流大小、离子柬质谱、发射度等离子源关键参数的测量。 三·离子源工作特性 1．共振磁场对放电的影响 对2．45GHz的微波频率。要求的共振磁场值为875高斯，我们实验测量了不同磁场下 引出的离子束的大小，以此来推断离子源放电的情况。图四是励磁电流和引出离子流的 关系。很明显这里有两个峰值，一个对应于875高斯共振磁场，另一个对应于1060高 13 斯的磁场。两个峰比较尖锐．并且在磁场继续增加时放电突然终止。在不同的放电功率 和进气量条件下都有类