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可用于微波／毫米波电子装置的超导传输线 赵芳灿 I信息产业部电子二十三研究所 上海200437) 摘要：本文介绍可用于微波，毫米波电子装置的各种超导传输线尤其是高温超导传输线的研 制概况、结构举例、工艺简介及萁主要应用。 关复词微波毫米波趔导传输线 超导传输线，包括超导延迟线、超导同轴线、超导徽带线和其它超导平面传输线，是 超导电子装置、尤其是微波／毫米波翘导电子装置重要的组成元件之一。 因为超导电子装 置有噪音极低、带宽特宽、损耗设低、灵敏度超高，反应速度特快、功耗极小、可靠性很 高、能与半导体器件兼容等突出的优点，在未来的电子战环境中具有很大的优势和应用潜 力。 (1)研制概况 自1987年高温超导材料的研究有重大突破以来，各国政府和研究机构以及军事部门都 把高温超导材料及其应用研究列入关键的开发研究计划．在人力、物力和财力上给予重点 保证。以美国为倒。在1957年12月，美国国防部授权国防科学技术委员会成立一个特剥工作 组，专门研究和估价高温超导材料及有美装置秘器件的军事|蓝用潜力c88年9月提交了一份 军事应甩报告。报告指出：超导电牲的许多应甩在军事上会带来重要的新能力，包括弱电 和强电应用。特别是超导材料将会在磁场敏感元件、无源微波和毫米波器件、超高遵数字 信号处理装置、大功率发动机和发电机、大功率微波，毫米波或光学储能装置、磁流体动 力学推进系统等军事应用领域带来重太政进。其中超导微波无源器件将最早成为实用的高 温超导器件。子是美国电话电报公司、超导技术公司、加州大学、麻省理工学院等单位， 积极开发研究各种高温超导材料和无源器件。并且于93年装在卫星上进行运行试验o ‘2)结构举例及工艺简介 超导传输线的结构形式多种多样，现咀超导延迟线为例来加以说明。 超导延迟线由于采用擞带线的结构形式，用铊系超导薄膜或钇镊铜氧煺导薄膜抗积在 ． 圆形的铝酸钢基片』二制成，寝体积、重量太大缩小、减轻，频率色散和插入损耗大幅降低。 例如美国桂邦公司最近糊得的铊系趣导薄膜延迟线，其主要性能指标如下：单件的延 哟插入损耗小于0．3dB／nS；t作频率范围为0、lOGHz。这种延迟线采用小型化的密封封装 结构，串音很低。 铊系超导薄膜的制造过程分为两步 沉积和退火。首先是激光烧蚀迁移，用24Brim的 澈光束使铊、钙、镪、铜的单一氧化物材料挥发。厚度大约为1um的非结晶薄膜在室温下 60℃高温下对这些薄膜进行退 沉积在预先清洗过的铝酸镅(LaAIo。)基片上。然后在太约8 火，时间为2至6分钟。用TI。0和0。的过压来控制薄膜中铊的含量。在T7K时的临界电流密 度Jc=(0．5～1)×108n／cm2。微波表面电阻为240W-Q(10Gffz)。 在lcmt基片上加2片薄膜就构成了微带结构，用湿化学工艺在一片薄膜上加工出如图I 4-0．06 p-m。薄 所示的图形，其螺旋形线段长度为13．9。m线宽为50¨m，薄膜厚度为0．56 膜的接地方法是在其边缘及微带结构的删面及背面镀金，并用一铟片使基片的背面与封装 件相连共同接地。 薄膜也可安置在徽带谐振器的封装件上，类似于美国林肯实验室所做的那样。封装件 用无氧高导电率(0FHC)铜制成，所有零件都要镀金。接地面与延迟线之问用聚酯薄膜介质 隔开。在注入片上方的接地基片上，切出若干条细缝。射频馈入装置的能量就通过这些缝 隙容性耦台到注入片中。 微波超导封装件用闭台循环致冷系统进行拎却，同时在封装件内插入经校正的硅=掇 管传感器。微波信号由频率合成扫描振荡嚣产生，在封装件输出端被放大，并用标量两络 分析仪进行分析。 f3}主要应用领域 在塑昱篮墨矬理菱董虫笪廑屉 在脉冲压缩雷达、扩频通信和电子对抗中，信号的实时娃理正受到人们的广泛关注。 虽然有许多技术能完成这种倍号处理任务，如电荷