微机电系统(MEMS)促进航空航天仪表的发展.pdfVIP

STC’99 微机电系统mEMS)促进航空航天仪表的发展 ● 北京航空航天大学 黄俊钦 【摘要】本文主要研讨最近几年己商品化和己研制成功的微传感器与系统，对航空航天 仪表发展的作用和展望。菅重介绍传感器、大气数据计算机、惯性导航系统、全球定位系统 和彩色液晶平板显示器等。并对仪表的几个主要部分的实际数据进行比较，说明MEMS对航 空航天仪表的体积、重量、耗电功率和可靠性的影响是相当可观的。 一、引言 微机电系统(Microelectromechanical 的。这个问题提出后发展很抉。参考文献ll，2】简单介绍了当时的许多耨型倦感器。参考文献嘲 介绍空间飞行器传感器。参考文献f4】为MEMS的专辑，内容非常丰富，主要讨论纳米科学 技术及应用等问题。参考文献【51系统的介绍了载人航天仪表，其中谈到许多MEMS促进航 空航天仪表发展的问题。 本文着重从最近几年已商品化和已研制成功的微型传感器与系统，谈谈它们对航空航天 仪表发展的作用与未来的展望。因为航空航天科技是很重要的高科技之一，应该是MEMS的 重要应用对象之一。从己商品化的MEMS可以看出，MEMS大量应用到航空航天仪表中已 为时不远了。所以，在这里再抛砖引玉的提出这个问题，供大家参考。 Data 二、大气数据计算机(A／r Computer，ADC) (--)数字式大气数据计算机 大气数据计算机的主要组成部分有三：(1)静压传感器．(2)动压传感器，(3)计算机。 数字式大气数据计算讥的主要特征是动静压两个传感器都是数字输出的。若采用频率输出传 感器(如谐振式传感器等)便需要频率数字变换器(FrequencyDigital 换为数字量输出给计算机。若用模拟量输出传感器(如压阻式传感器等)便需要模数变换器 Digital (Analog 完成。 振动筒压力传感器是性能根好的传感器之一。采用静压和动压两个振动简传感器，加上 频率数字变换器(是一个集成块)和单片机便可以做成数字式大气数据计算机，它的体积大 小主要由两个振动筒压力传感器的体积决定。其外壳做成相当于振动筒的高度鄢麽高的圆柱 体，其直径和现有航空仪表表壳一样，除两个振动筒传感器安装在空间外，剩下的空间装电 子电路(谐振器、电源、FDC和单片机等)就可以。这样的数字式大气数据计算机的体积、 重量、耗电功率．变为用于90年代新型飞机上的大气数据计算机(它的重量为6kg，耗电 29Watts)的1／10是完全可能的。 若采用已商品化的集成谐振E-gJ传感器f6】代替振动篙式压力传感器，其体积和重量小于 振动筒压力传感嚣的1110，其性能相当，这样的小型数字式大气数据计算机的体积、重量、 耗电功率又小一个数量级。 再进一步可将全都电子线路和谐振压力传感器(或模拟式压力传感器和模数变换器)集 成在一起，成为微型大气数据计算机。 (二)己商品化的几种微传感器 下列5种徽传感器及其显示器共同装在一个手表内阴。 ● 1．数字罗盘 在0～359度分度为I度，可存贮月、日、星期、方向和测量时间等的有感受异常磁场的 功能。可用北方或双方向校正。 2．高度表 量程O～4000m，分度为5皿。记忆功能为：带日期和温度的50组高度。给出目标高度信 号，图形显示目标高度，高度变化趋势图，+英尺和米的换算。 3．压力表 和Pa的换算。 4．温度表 量程为．10℃～60℃，测量分辨率为0