一体化厚膜高分子温湿度传感器的特性分析.pdfVIP

体化厚膜高分子温湿度传感器的特性分析 沈剐仪器仪表工艺研究所 吉林大学 林洪郝永德陈卢金 张彤孙良彦 ● 【摘要】采川厚膜f：艺将悍膜NTC熟敏电阻和高分子湿敏电阻制作在同～基片上构成一体 化温湿度传感器．它具有体积小、响应速度快、测试精度高和易于集成化等特点。本文介 纠了该传感器的蹬计原理、制作【艺、温湿度特性及影响因素，讨论了根据湿度传感器的 ● 温度漂移米漏警热敏IH阻的参数，对湿度传感器进行温度补偿，从而提高了湿度测量精度。 、引言 目前．温度和湿度传感器的种类很多。但是这两种传感器的制造和湿度湿度的测量都 是独立的。如果需要同时测鼙温度和湿度，通常是将温度传感器和湿度传感器两支元件封 装在一个探头壳体垦，分圳测量温度和湿度。而湿度传感器都存在温度漂移，给湿度测量 藉柬假人的娱莘。为丁对其进行温度补偿，有时还要安装第三支用来作湿度转感器温度补 偿的元f，}。这样就使探头的体积增大、结构复杂、信号处理烦琐，给仪器制作和测量过程 带来许多不馁。为了解决这些问题，我们采用厚膜工艺将温度传感器和湿度传感器制作在 嘲一基片．卜而形成一个集成一体化的温湿度传感器，其中的温度传感器可同时起到温度测 鞋和湿度传感器的温度补偿两个作用。通过参数调整，可以使对湿敏电阻的温度补偿更为 精确和及时，从而提高了湿度传感器的测量精度。这种传感器不仅具有体积小、响应速度 腱、定敏迎．岛、适台批苗牛，o和易T-集成化等特点。 一、传感器的设计原理和制作[艺 j．传感器的笈计原理： 0湿爱传感器的选择： 湿度传感器的种类}醴}，有机高分子类因其较好的湿敏特性近些年来发展较快，有机 t 高分子也阻式湿度传感器就是一种性能良好的具有代表性的一种高分子娄湿度传感器。它 采J{j亲聚丙烯酸酯类水性单体和憎水性单体共聚合形成的高分子聚台物，经过溶齐j稀释后 涂在印有梳状金电极的陶瓷基片上形成湿敏膜，它本身的高分子立体链网状结构决定了与 空气接触的表面积非常人．它的膜层也很薄，可以保证其有足够快的响应时闻。与其它湿 ● 度传感器相比，这种湿度传感器不仅具有响应速度快、灵敏度高、湿滞小、性能稳定和制 竹{艺较为简萤等优点，r而且其制造r艺恰好与厚膜L一艺兼容，这就使其与厚膜温度传感 器j}勺一体化集成能够得以蜜观。 o热敏LI土阻的选择： ‘段来i兑，湿教元¨辨垣蓐盘温度漂移，这商接影响着湿度测墙精度。高分子湿敏宅 阻也不例讣+人部分湿敏元件的温度特性都具有随温度变化的指数关系．这是出水蒸气的 饱和蒸气序曲线羊¨材料本蚜特性决定的。而MnCoNi金属氧化物类厚膜负温度系数热敏电 289 阻L厚膜NTC)的温度特性上E好是负指数曲线，其制造工艺也正是厚膜工艺，如果将二者 结合刮一起，通过参数调整，就能够比较理想地对高分子湿敏元件的温度漂移进行温度补 偿．从而提高元件的湿度洮罐精度。同时热敏电阻还可以起着温度测量的作月j。 由此可弛，一者的制造l：艺上是兼容的，湿度传感器的温度补偿原理是可行的。 2．传感器的制造l：艺： 考虑剑传感器厚膜制作f艺的要求及温湿度敏感元件制作工艺的兼容性，我们选用 96％陶瓷片作为基底，温敏元件采用性能优良的高分子湿敏电阻，热敏元件采用具有NTC 特性的MnCoNi系氧化物垮膜热敏电阻。为了减小体积降低阻值以满足实用化要求，电极 采川梳状形式。湿敏元r|果』q