一种对称电容式微差压伺服传感器.pdfVIP

STc’99 韩明王跃林解健芳陈芬扣张流强 中国科学院上海冶金研究所传感技术国家重点实验室 摘要． 分析的方法对结构进行彪变模拟的基础上，对差压传感器的电容值和伺服电压值进行了理论 ● 计算。在此结果上结合工艺条件，最终确定结构参数。实际工艺上用浓硼扩散自停止腐蚀方 法，制造高灵敏度的膜岛结构。 关键词：电容式微差压传感器伺服有限元分析灵敏度 一引言 如今在工业控制和仪器仪表制造中．随着高精度控制的需要，都对微小差压的检I测提 出了新的要求。特别是在高洁净车间的空调系统中，对车间内外的压差有着苛刻的要求。如 果差压太小．将菇去{；赶洁净惑压差太大时，将过多让浪费§螈。实％i泣用中，i表个鹾 被控制在IOOPa以下．可取得最优效果。这个压差是—个很小的值，要求传感器有着很高灵 敏度。我们采用电容检测型结构，因为它比压阻型结构有着更好的灵敏度。然而，要获得高 的灵敏度就将牺牲器件的动态检测范围。因此，我们采用伺服技术t通过产生一个反馈力， 来平衡可珊撼，越妒期酹至的作用。事实上，绷腓旷脚于真空计，力Ⅱi娃计 和陀螺等传感器中，提高传感器的整体性能[1-4]。 二设计和工艺 ● ，／“““》：÷j-一。Ij t ：冬。‘＼ ／ ～‘．‘：．‘：～v 玻璃 ～ 伺服电极 ，、 图1器件结构(a)分离结梅(b)组装后 ST℃，09 图l为伺服差压传感器模型，它包括二层琥璃和一层硅结构，通过键合工艺把硅结构夹 在二层玻璃盖板中。硅膜厚度取4微米，这样才能对微小压差有着高的灵敏度，甩浓硼扩散 自停止腐蚀方法实现。硅膜面积4．2mx4．2m。中间岛结构面积2．5x2．5ram，厚280jum-上 电极与硅膜间隙2岬．构成检测电容c。。随着可动结构两边压差的变化，间隙发生改变，导 致c，变化。在下电极加上一定的电压，将产生静电力，可平衡压差，起至峒服作用。事实 上，上下电极女阿以作为检测电极或伺服电极。在这个结构中，还有一个由六根悬粱支撑的 导通岛，其主要作用是}巴下电极引导至Ⅱ上盖板，便于以后的封装和键台。六根悬梁在键台后 用激光打断，使岛与周围绝缘。 啪 啪 啪 口d)∞uc∞!uⅢ盘_o 枷 一 拳篓擎鼋尊 口 ” 曲 ∞ _ D1_erem枷p他髓ute铲砷 雾!：慧曩压2纛I盘10船誊燕尊 8圈3检测电容随压差值变化3口4Y。9“45。“‘。… 中心位移．8u仉(膜厚4∞) 我们用有限元分析软件(A陋Ys)对可动结构进行模拟，主要计算了硅岛结构在外加差压 4u 情况下的形变，考虑了大扰度效应。形变与硅膜的厚度密切相关，当膜厚取至0 m左右时 (见图2)，在lOOPa压差下，中间岛位移了2．18j-m，差不多i】哒到间Ⅸ献，I、。，变化压差， 得到一系列变化的位移值。由公式