一种微型喷研究.pdfVIP

S1℃’99 r海青时雄英唐飞周兆英 ’ 清华大学微米，纳米技术研究中心，北京，100084 Email：yexy@nd．pim．乜趣噩medLL∞ 摘要：微型喷是微型机电系统的一种重要拙行器。它的主要应用方向为喷墨打印头、微 膏 供给，芯片冷却以及气i《控制等。近月年来，随着航天领域敝型化技术的发展，用于微型推 进系统的微型喷的研究越来越受到重视本文所研究了用于微型推进系统的横型喷，该微型 喷采用以水为工质的电阻电热工作方式，利用硅微加工工艺制作。 一．引言 微型喷是娅惦的一种典型器件，在她摄{元域占有颇为重要的一席之地。它的应用涉 及生物医疗、科学仪器、工业控制等多个领域，目前几种主要的应用方向为：喷墨打印、药 品的微量供给、芯片冷却、气渚滥制以及微型推进系统。 微型喷的主要结构为喷嘴、腔体以及驱动部件。由于用途不同，对微型喷腔体、喷嘴 的形状以及驱动方式会有不同的要求。用。F喷墨和微供给的微型喷主要进行对液体的控制， 用于芯片冷却、气流控制以及微型推进系统的微型喷则主要进行对气体的控制。 微型喷豹驱动方式主要有：静电驱动、压电驱动、电磁驱动、热气泡驱动等。用于喷 墨和微供给的微型喷～般采用气泡躯动、静电驱动。用于与空气动力学有关的气流控制的微 型喷一般采用压电、静电或电磁驱动。_}{j于芯片冷却的微型喷一般采用压缩空气gE动。用于 微型推进系统的微型喷通i蜮体高速喷出，而获得推力，其驱动方式借鉴火箭发动机原理， ～般采用化学反应方式、或采用电阻电热方式使固体升华或液体气化而获得高温赢压气体。 (使液体气化的电阻电热式微推进器与瓣j热气泡驱动的喷墨头的工作原理有相近之处，它 们的差别在于喷墨头只需将曷部液体气化，使腔体内压强大§4足以喷出液滴即可，丽徽推进 器则要将腔体内液体全部气化并尽可能避免将末气化的液体喷出，因为对微推进器丽言，这 是对工质的浪费，微推进器所需的功率要大得多。) 美国喷气推进实验室(『PL)首次展示了两种采用娅Ms技术的电阻电热式微推进器样 机。其中固体升华方式微推进器由推进剂出贮箱、微阀、微过滤器、微型嚷口等组成；，液 体气化方式微推进器由薄膜加热器、微型喷口等组成，利用体硅工艺制作。美国豫w公司、 航空航天公司和加州理工学院组成的研究小组研制了一次性实用的3×5阵列的电阻电热式 微推进器样机，实用液体或固体工质，利用固体工质时其最大冲量达1妒N·s。 二．微型喷的工作原理 ● 电阻电热式的推进系统具有结构简单、易于微型化和应用广泛的优点。水便宜而且安全 可靠，雕水为工质会为研究带来很多便}b。因此，我们研究的微型喷采用以水为工质的电阻 电热工作方式。 电阻电热式微型推进系统结构如圈1所示。该系统由四个子系统构成。作为电阻电热 式微推进器的微型喷是这一微型推进系统的核心部件，它将电能转化为排出物的动能，主要 由加热电阻、加热腔以及喷嘴构成。由于毛细现象．工质(水)会自动由工质供应系统i自A 并充满加热腔。加热电阻两端施加电压脉冲。加热电阻升温使加热腔内的水在很短时间内气 化，成为i蘑温高压的水蒸气，从喷嘴高速排出，获得推力。 曼 图1电阻电热式微型推进系统结构框图