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刀具表面超晶格TiN_AlN纳米多层膜的制备及性能的研究.pdf
《热加工工艺》 年第 期 23
2005 11 工艺技术
刀具表面超晶格TiN/AlN纳米多层膜的制备
及性能的研究
潘应君 陈淑花 张细菊 吴新杰 陈大凯
, , , ,
武汉科技大学 材料与冶金学院,湖北 武汉
( 430081)
摘 要:采用脉冲多弧离子镀技术制备TiN/AlN纳米多层膜,对该薄膜的结构研究表明,随着调制周期的减小,稳定态六
方 相逐渐转变成亚稳态立方 相,形成以 超晶格结构为主的薄膜。并从与标准图谱的对比中可知,
AlN AlN TiN/AlN TiN/AlN
超晶格是 在立方 簿膜的影响下,在 层上以亚稳态相立方结构外延生长所形成。另研究显示, 薄膜具有
AlN TiN TiN TiN/AlN
一定的超硬效应以及在硬质合金刀具上优良的使用性能。
关键词:刀具;超晶格TiN/AlN纳米多层膜;多弧离子镀;超硬效应
中图分类号: 文献标识码: 文章编号:
TG174.444 A 1001-3814(2005)11-0023-03
PreparationandPropertyStudyofTiN/AlNMultiplayeronToolsSurface
,
PANYing-jun,CHENShu-hua,ZHANGXi-ju,WUXin-jieCHENDa-kai
( )
CollegeofMaterialScienceandMetallurgy,WuhanUniversityofScienceandTechnology,Wuhan430081,China
:
AbstractTheTiN/AlNmultilayerswaspreparedusingimpulsemulti-arcionplatingtechnique.Filmstructurestudyshowsthat
steadyWurtzite-AlNphasechangingtounsteadyNaCl-typecrystalstructuregraduallywithreducingfilmperiod.Themainphase
structureofthismultilayerisTiN/AlNsupperlattice.ItcanbeconcludedfromthestandardpatterncomparisonthatTiN/AlN
supperlatticewasformedwhenNaCl-typeAlNepitaxial-growthonTiNfilmsurfaceandinfluencedbythisprototypematerial.And
TiN/AlNmultilayershowshighhardnessandexcellentapplicationpropertyonhardalloysubstrate.
:
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