大面积表面波等离子体的特性研究.pdfVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 )) !! %%’ !! ， ， ， @AB +)) ?A + !! ?ACD0EDF %%’ （ ） !%%%8$*%9%%’9)) !! 9)*%)8%# :2;: 35=2: =?2: !%%’ 2GHI + 3GJK + =A/ + !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! 大面积表面波等离子体的特性研究 !） ） !） ） !） !） !） 刘明海 菅井秀郎 胡希伟 石岛芳夫 江中和 李 斌 但 敏 !）（华中科技大学电气与电子工程学院，武汉 #$%%# ） ）（名古屋大学工学部电气研究科，名古屋 #’#(’%$ ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） %%) * ! %%) ! !( 介绍一种矩形反应腔体结构的表面波等离子体源，通过对垫层介质及天线结构的优化设计，产生了大面积均 匀的等离子体 采用静电探针测量了等离子体参数（密度，电子温度）在不同运行条件（气压，功率）下的空间分布； + 采用扩散模型，数值模拟了等离子体密度在垂直方向上的空间分布，并比较好地解释了实验测量结果+ 关键词：表面波等离子体，狭缝天线，数值模拟，探针测量 ： ， ， !## ))% )#%, ))- 天线的阵列结构及垫层介质，来探寻产生大面积均 !. 引 言 匀的高密度等离子体的技术手段和实施途径+ 随着半导体晶片超微细加工、液晶显示器、太阳 . 大面积表面波等离子体的产生 能电池、生物医学高分子薄膜及高聚物的表面改性 等领域的迅速发展，近年来迫切需要发展大面积均 在表面波等离子体中，微波是通过狭缝天线耦 匀，低气压高密度，大口径（尺度达 !%%/0 ）的新型等 合进入真空室内的，在狭缝的正下方首先击穿气体 离子体源+ 与其他类型的等离子体源相比，表面波等 放电，形成高密度等离子体+ 当微波功率高时，电磁 离子体具有许多无可比拟的优点：无需12- 等离子 波传输到临界密度层要被反射回来，沿介质板和等 体或螺旋波等离子体那样的磁场，结构简单；不存在 离子体界面往四周传播，其能量被约束在界面附近 平板型等离子体那样因电极插入而导致的杂质污染 的区域内，并随传播距离指数衰减+ 如果入射功率足 问题；便于产生截止密度以上的高密度等离子体；用 够大，电磁波沿界面传输到真空室壁处的强度还足 小尺度的开口天线，就可以通过表面的传播实现等 够强，即可产生大面积均匀的高密度等离子体+ 到目 离子体的大口径化，已经成为下一代超大规模集成 前为止，反应器尺度达 的等离子体装置是电容 !0 电路器件加工的强有力竞争者+ 正因如此，法国，德 耦合型（ ），由于产生的等离子体密度不够高，因