聚合物包覆热分解法制备纳米氧化锌的工艺研究.pdfVIP

樊慧庆 等：聚合物包覆热分解法制备纳米氧化锌的工艺研究 2081 聚合物包覆热分解法制备纳米氧化锌的工艺研究*  1 2 1 樊慧庆 ，马明涛 ，李 进 (1.西北工业大学 材料学院凝固技术国家重点实验室，陕西 西安 710072； 2.西安市集成电路产业发展中心，陕西 西安 710075) 摘 要： 采用聚合物包覆热分解法化学工艺制备了纳 # # 2 （2 ）；1 ∶3 （3 ）]混合，然后将其溶解于去离子水中 米氧化锌，对其工艺进行系统的比较研究，对所得粉体 形成均一溶液。置于烘箱中 （100～120℃）烘干，得到 进行XRD 与SEM 表征。发现利用该工艺所得粉体为六 凝胶，进行3 个不同温度 （800、900、1000℃）的煅烧， 方晶系纤锌矿结构(空间群为P63mc) 的纳米氧化锌。该 最终获得纳米氧化锌。随后，对其相结构和微观组织进 方法制备的氧化锌衍射峰尖锐，表明此种方法合成的氧 行了系统表征。 化锌结晶程度高。所得的氧化锌粉体X RD 图谱中没有 3 结果与讨论 杂质衍射峰，说明产物纯度都很高。产品 SEM 表征结 果显示了此工艺产物在形貌方面的高度一致性— — 为 # # # 图1 对800 ℃2 样品，900℃1 、3 样品以及1000℃ 菊花状氧化锌纳米杆团簇，文中对产物形貌形成的原因 # # 1 、3 样品作了 XRD 表征的图谱，分析了样品的相结 做了详细的探讨。 构。可以看出，3 个温度下所制得的氧化锌均为单一的 关键词： 纳米氧化锌；热分解法；菊花状纳米杆团簇 六方纤锌矿结构，结晶完好，且未见杂峰，说明最终产 中图分类号：TB383 ；TF123.1 文献标识码：A 物— — 纳米氧化锌的纯度很高。另外由图上可以看出， 文章编号：1001-9731(2007)增刊-2081-03 各XRD 图谱的主峰有稍微的差别。在图 1 中5 样品的 1 引 言 XRD 图谱上，越上方的图谱主峰越偏向大角度方向， 也就表明晶格常数越小。表 1 是利用MDI Jada 5.0 对上 氧化锌是一种重要的宽禁带多功能半导体材料，常 述XRD 图谱的计算得出平均晶格常数，表中数据证实 温下带隙宽为 3.37eV ，它的激子束缚能高达 60meV ， # 了这现象。1 配比 900 ℃热分解制得的氧化锌晶格常数 在紫外光电器件方有巨大的应用潜力。纳米氧化锌是近 最小，与标准值 （a ＝0.32495nm ，c＝0 .52069nm）相差 年来发现的一种高新技术材料，是极少数几种可以实现 # 最大。而3 配比900 ℃热分解制得的氧化锌晶格常数与 量子尺寸效应的氧化物半导体材料。由于氧化锌粒子的 标准值相差很