单幅干涉条纹图的高精度波面重建技术.pdfVIP

第44卷第4期 红外与激光工程 2015年4 月 Vol.44No.4 InfraredandLaserEngineering Apr.2015 单幅干涉条纹图的高精度波面重建技术 田爱玲，刘 婷，刘 剑，刘丙才，王红军 (西安工业大学 陕西省薄膜与检测技术重点实验室，陕西 西安 710032) 摘 要院结合莫尔条纹、傅里叶变换和数字相移技术实现了对单幅干涉条纹图的高精度相位计算和 波面重建。首先，用计算机生成与被处理干涉条纹频率相近的数字相移条纹图，与实际干涉条纹图叠 加得到相移莫尔条纹图；然后，利用傅里叶变换、双频滤波、傅里叶反变换和相移技术得到干涉条纹 图的相位数据；最后利用波面拟合技术重构原干涉条纹图对应的波面形状。研究结果表明，该技术不 仅消除了干涉仪硬件相移产生的非线性误差和滤波时的频谱移中误差，高精度获得了单幅干涉条纹 图对应的波