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·456· 第十一届中国光伏大会暨展览会会议论文集
n型微晶硅氧薄膜在非晶硅太阳电池中的应用
岳 强 张晓丹’ 郑新霞魏长春耿新华赵 颖
(南开大学光电子薄膜器件与技术研究所，光电信息技术科学教育部重点实验室，
光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室，天津300071)
摘要本文采用PECVD技术制备的n型氢化微晶硅氧材料代替Zn0做为背反射电极折射率匹配层，以在
非晶硅电池中的应用为例来研究“c-SiQ：H／Al复合背反射电极设计方案的可行性及相关问题。研究结果
表明：在非晶硅电池中加入光电特性合适的uc-SiO，：H层作为背反射电极折射率匹配层可以实现对电池效
nnl
率的提高。复合背反射电极的使用主要提高了电池的短路电流密度，电流的提高来源于电池对550～750
波长范围内弱吸收光的增强响应。同时，t．tc-SiO=：H层的加入也在一定程度上提高了电池的开路电压和填充
因子，这种现象可以部分地归因于宽带隙的肛c-SiQ：H材料可以增强非晶硅本征层中的内建电场从而有利
于光生载流子的收集。在本文的研究范围内，ge-SiO．：H／Al复合背反射电极的采用能够将电池的效率相对
提高约10％。
关键词 非晶硅太阳电池；氢化微晶硅氧；背反射电极
of Silicon
Applicationn-typeHydrogenatedMicrocrystalline
Oxidein SiliconThinFJimSolarCells
Amorphous
Yue Xiaodan。 XinxiaWei
QiangZhang Zheng Changchun
XinhuaZhao
Geng Ying
(Instituteof thinfilmdevicesand ofNankai of
photo-electronics technique University，KeyLaboratory
thinfilmdevicesand of of
photo-electronics techniqueTianjin，KeyEaboratoryOpto-electronic
InformationScienceand of
Technology，MinistryEducation，Tianjin，300071，China)
AbstractInthis siliconoxidewas
dopedn-type proposed
paper，phosphoroushydrogenatedmicrocrystalline
toserveasasubstituteforZnOin siliconthinfilmsolarcellsasa ofthebackreflectorsin
amorphous part
ordertoserveasrefractiveindex of BRs
applicatio
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