金刚石膜热导率和织构方向的关系.pdfVIP

的氧化物，避免了S04：一或SO：与涂层金属直接接触而发生内硫化，氧化。因此在腐蚀产物分 析时没有发现硫化相。 4结 论 (1)在本实验条件下，涂层D的抗腐蚀性能较好，腐蚀以氧化为主：涂层A、B、C 的腐蚀增重较高，发生了共晶熔盐引起的热腐蚀。 (2)实芯丝材的含铬量对涂层的抗热腐蚀性能有明显影响。含铬量越高，形成的电弧 喷涂层表面可生成Cr20，保护膜，提高涂层的抗热腐蚀性能。粉芯丝材由于喷涂过程中铬烧 损较多．且铬在涂层中的分布不均匀，使涂层抗蚀性降低。 参考文献 1撩滨士，马世中等面向2】世冕舶电瓶喷绘技术见一锚毒士面向二}～世纪的表面工程一￡卑：=}『L槭工业出版杜，1997：90—93 2檐墒上、马世宁等几种电掘嚷涂层抗热腐蚀性能研究中国表面工程．1998；11(2){4--i8 3Li Bthshlecf ofNewCordWi)eforUsewithResistant Arc In：Surface Towards XiaogangXuStudy Coatingby Spraymg Engineering Press．1997：400-402 ∞21“CenturyBelting：ChinaMachine 4张允书热腐蚀的盐溶机理及其局限性中国寤蚀与防护学报1992：j2(”．1-9 金刚石膜热导率与织构方向的关系+ ’ 叶祉测张纪法 方容川 E-Ⅲa r．C．edu．cn 中国科学技术大学物理杀台肥230036i}．fangrc@US 罗廷礼张永贵何奇宇 河北省科学院中试基地石家庄050081 捅要制作高性能的热沉是金刚石膜应用的一个重要的方面。本文利用光热偏转法，测试，一系列金刚石 膜样品的热导率．结合拉曼光漕，x射线衍射等手段，研究了用直流等离子体喷射化学气相沉积方法生长 一 的织拇金剐石膜的热导率与织构方向的关系。分析表明热导率与取向商系统性的联系，(110)取向的金刚石 膜的热导率明显优于(j1 I)取向的，对40多块样品的结果都符合这一规律，这说明，至少在我们制各样 热导率金剐石膜的一种可能方案。我们对其机理进行J’一些探讨。 关键词织构金刚石膜织构方向光热偏转法热导率 口 利用金刚石的高热导制作离性能的热沉是金刚石膜应用的一个重要的方面…。随着化学 气相沉积(CVD)生长金剐石膜的机理研究的不断进展、制备技术的不断改进，特别是织构 金剐石膜的成功制备，金刚石膜的热导率已经接近天然金刚石2500W／mK的水平达到 2200W／InKc”，远高于常规的热沉材料如锕、氮化铝等的水平…。 与金属的自由电子导热不同，作为绝缘体的金}99石主要通过晶格振动，也就是声予的传 播来完成热传导。它的高热导率是因为其离硬度(具有天然物质中最大体弹模量)和较轻的 原子质量，这使得金剐石具有很高的声子传播遽率。显然，晶体中各种声予散射机制，如点 缺陷、杂质、堆垛错误以及多晶中的晶粒晶界等，都会对金刚石的热导率产生影响。对于多 晶的金刚石膜而吉，晶粒晶界是影响其热导率最主要的因素之一。这是因为金刚石膜中的晶 粒晶界不仅仅限制了声子的传播，而且晶粒晶界中往往淀积大量的热导率很低的非晶碳成 +863计划新材料领域蹙助项目 663 分。因此为提高金刚石