扩散、合并与粗化%3a沉积在液体基底表面Ag原子团簇及薄膜的演变过程.pdfVIP

第22卷第3期 真空科学与技术 龇年州 vA㈣肿AⅣD_IEcHNoI脚(cm)193 扩散、合并和粗化：沉积在液体基底表面Ag原子 团簇及薄膜的演变过程 杨波金进生焦正宽叶高翔 (浙江大学物理系杭州31嗍) 埘m】si蚰，Ijol岫n傀鲫d 0f蜘al咖 C伽髑e血g：E1，ollmon sl】I而搬 and．Il血№Dt棚I幽d伽aLi州d B0，Jin Y∞g Jirl8heng，J协z}岫】口，YeGa捌∞g (A驷r加州矿曲归，矗咖肌妇嘶，凰嘲舭‘，31002B，Gku) ^I咖吐The diI缸洒，∞山咖e、枷。0叽槐iI】g ondle幽0il“h 6Ⅲ．‰岫mm蛐i№删㈣，砌ch 刊c081呲e∞tllem岫1 En曲蛔㈣叫山㈣．1kⅫ州d11日咖蠲m di珏汹帅c0幽d咖0ftIle ak0删． h|妇0f岫驯dI晰8Ild妊啊坤翻mm subBna把。|Itlill K呵帅瞳_dsuqllid 6lⅡI，Di岛si彻，c0由es唧oe，c蚰啪ning 摘要研究了沉积在藏体基底表面的^g原子团簇的扩散、合并和粗化机制。对薄膜生长过程的原位观寨培果表明：沉 积在硅油表面的Ag原子首先凝聚成具有网状结构的薄膜；然后薄膜破裂成分枝状的碎片．并逐渐凝聚成准圆形团簇；通过扩 散和合并，准圆形团麓的尺寸随时问而增大，其数密度随时间而减小。研究发现，准圆形团簇对的扩散系数D和团攘对的总 了详细研究。 关t词液体基底薄膜扩散合并粗化 中圈分类号：0484．1 文献标识码：A 文章■号：位珏蝴(∞02)∞-01珏．0匹 1994年，Ⅵr吼等首次报道了包含上百个原子的外，研究结果还表明：沉积后形成的原子团簇一般会 二维Ag原子太团簇在Ag(1∞)表面的扩散行为【1]。 发生粗化，即原子团簇的平均尺寸不可逆的增加，并 随后，B日出d等报道了包含上千个％原子的团簇 且团簇的粗化过程不依赖沉积过程中团簇的生长和 在石墨基底表面的扩散现象【2J。这些实验结果再次 凝聚过程【89J。因此。团簇的粗化过程能很好地反 引起了人们对固体基底表面团族扩散理论研究的兴 映团簇生长过程的演变机制。一般认为，团簇的粗 趣。已有的实验和理论研究结果表明【3一】：原子或 化过程是由洲dIlip蚵墙(即通过蒸发凝聚，小于 原子团簇在基底表面的扩散行为对薄膜特征微观结 临界尺寸的小原子团簇不断消失，大于临界尺寸的 构的形成具有重要作用。团簇的扩散系数D和团 大原子团簇不断长大的过程)和团簇扩散及合并两 簇中所包含的原子数目s可用标度关系表示为 种机制引起的【3·8一…。 D虻s一4 (1) 近几年来，沉积在液体基底表面的金属原子团 式中指数a与团簇运动的微观机制有关[10]。此 簇的扩散和凝聚特性引起了人们的关注【”“]。已 收■日期：瑚1．1009 t童疆目：国采自鼎科学基金鹰胁硬茸(№．1钾删6)和新扛睿青年人才专碱基垒费瞬疆目(‰．1势7-J0嗍) 真空科学与技术 第22卷 有的结果表明：与固体基底表面的囝簇相比，在大气 m。