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微机械电子工程设计内容简介
课程编号：B0200023C 课程名称：微机械电子工程设计
英文译名：Design of MEMS Engineering
适用学科：航空宇航制造工程
先修课程：模拟电子数字电子 特种加工技术 硅及其化合物材料的特性和加工方法 机电一体化技术及其应用等
开课院（系）：机电工程学院
任课教师：侯珍秀
内容简介：
1、微机电系统的组成和应用 包括微机电系统的特征、微机电系统的材料和制造技术、 微机电系统的测量技术和微机电系统的应用。
2、微机电系统功能材料特性介绍，包括硅材料、压电材料、磁致伸缩材料、形状记忆合金、电流变液和碰流变液材料、膨胀合金、金刚石材料和纳米相材料。
3、微机械制造技术：硅微机械制造技术、LIGA入技术和SLIGA技术、特种精密机械制造技术和固相键合技术。
4、微机械执行器：微电机、微泵和微阀和梳状微谐振器。
5、微机械传感器：硅压力微传感器、硅谐振式加速度微传感器、0位平衡式硅电容加速度微传感器和硅谐振式角速率微传感器。
6、微机械弱信号检测与处理：微弱信号检测技术和微弱信号检测技术的应用。
主要教材：
刘广玉，樊尚春，周浩敏，微机械电子系统及其应用，北京航空航天大学出版社，2003
参考文献：
1．董景新等微惯性仪表——微机械加速度计黄庆安硅微机械加工技术苑伟政马炳和微机械与微细加工技术
微机械电子工程设计教学大纲
课程编号：B0200023C
课程名称：微机械电子工程设计
开课院系： 机电工程学院 任课教师：侯珍秀
先修课程：模拟电子数字电子 特种加工技术 硅及其化合物材料的特性和加工方法 机电一体化技术及其应用等
适用学科范围：航空宇航制造工程
学时：36 学分：2
开课学期： 春季 开课形式：讲授
课程目的和基本要求：
使学生掌握微机电系统的组成和应用、微机电系统功能材料特性、微机械制造技术、微机械执行器工作原理、各种微机械传感器的组成及应用以及微机械弱信号检测与处理技术。通过学习，使学生能够掌握对微机电系统设计、制造的方法。
课程主要内容：
1、微机电系统的组成和应用 包括微机电系统的特征、微机电系统的材料和制造技术、 微机电系统的测量技术和微机电系统的应用。
2、微机电系统功能材料特性介绍，包括硅材料、压电材料、磁致伸缩材料、形状记忆合金、电流变液和碰流变液材料、膨胀合金、金刚石材料和纳米相材料。
3、微机械制造技术：硅微机械制造技术、LIGA入技术和SLIGA技术、特种精密机械制造技术和固相键合技术。
4、微机械执行器：微电机、微泵和微阀和梳状微谐振器。
5、微机械传感器：硅压力微传感器、硅谐振式加速度微传感器、0位平衡式硅电容加速度微传感器和硅谐振式角速率微传感器。
6、微机械弱信号检测与处理：微弱信号检测技术和微弱信号检测技术的应用。
主要教材：
刘广玉，樊尚春，周浩敏，微机械电子系统及其应用，北京航空航天大学出版社，2003
参考文献：
1．董景新等微惯性仪表——微机械加速度计黄庆安硅微机械加工技术苑伟政马炳和微机械与微细加工技术
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