Waveguide-surfatron型表面波等离子体源的特性的研究.pdfVIP

Waveguide—surfatron型表面波等离子体源的特性研究 詹如娟吴丛风朱小东黄卫东温小辉武帅周海洋 (中国科技大学近代物理系台肥230026) 摘要 激发表面波模式为rq≥1模，在放电室中电磁场均匀性与等离子体的密度有关。实验结果指出，采 笔A ，：体干只均匀等离子体+其电子温度为1．4eV．等离子体密度为101ocm-5实测的等离子体密度值与理 论计算的值基本棚吻台。 关键词：Waveguide—surfatron大面积均匀等离子体游表面波模 l目I言 嗵看微波等离于1车。#嗣jiE是发蜓 和向罾!={经请吾／、领域的深入．对等离子体源也提出了 暮再的要求．尤其是材柯利。亨投微电子学的苴展．相工基板尺寸的不断扩大。无论是对刻蚀，沉 筏．还是表面改性．一十能在较竞气压范围内实现大面(体)积均匀的等离子体源显得+分重要． 近年来加枣大t曰本．法国，德国等一些研究-[作者在积极寻求用表面波方式激励大面(体)积 均匀的等离子体：卜6j，其中．法国的Bechu等人【4]在气压为1Tort．时成功地激发了直径为90。100 lnm的等离子体往；德国的Korzec等人【2]在工作气压为5Pa、微波功率为4000w时，在直径为66 cm的放电管内．激发了直径为40 cm的均匀等离子体，均匀性为±6．5％，但未见到更高气压下大 体积均匀等离子体产生的报道。另外，对激发等离子体柱的表面波电磁场的理论研究多限于m=O 模较简单的情况f71。 面波的发射器由一环形倾斜裂缝阵波导和顶端的短路活塞组成。依据电磁理论分析波激发嚣能激 励起m≥1模，并对m≥I模的表面波的电磁场进行了大量的模拟计算，计算表明，等离子体中电 ) 逝场的均匀性与等离子体密度有关，该结论为实验中调试大面积均匀等离子体提供了重要参考。 l 实验中采用A r放电．在气压为10一1000Pa范围内，改变微波功率．用光强记录诊断等离子体中表 面波模特性．发蚬当气斥乃1 敞发m24车¨m=6模[9j：HtNJ}t。洲芾等离子体参数，结果表明，在气压为10-1000Pa范围内，微 渡功翠小丁n1000w时，可获得直径为160ram以上的均匀等离子体。且实测的等离子体密度与理论 计霄结泉基本蚴台。 2色散方程和电磁场计算 用于产生丈面积(火体积)均匀等离子体的装置f8]的真卒室臼石英管和不锈钢工作室两部分 80 蛆成。“英管的内径a丰¨外径b分别为lillm和188ram，长度为500mm．石英管内是等离子体 ．·生区域。珂i锈钢-J：作空(内径为260mill)位于百英管的。F方，是等离子体扩散区域。为了理论 分析方便．当该装置产生等离于体时，将其结构简化为填壳三层舟质(等离子体、石英玻璃和空 ‘iJ的圆垃边界米处莲，这里不考虑下面的≈：诱钢厂作室内等离子体的扩散 根据电磁理论分析可知．环形波导上的颂斜裂缝能激励起混台楔(TE横和TM模的线性组台)， i』、而可断定最面波可能的模式为月j≥l模。考患低气压F弱碰撞等禹子体情况，即电子与中性粒子 习碰撞{蹰盎、，与微波的角频率(c】的比值较小时．戟计算表面渡传插常数13而言，等离于体的相对介 毛砉数可棍为【10]：￡。=1一∞：。／∞，∞。是等离于体电子振荡角频星·三维介质中表面渡场丹 羞是实变量的实函数．假定所产生的等离于仁为径『司均匀的跨等离子体．则各种传播模式的电磁 场分量可斟}fj修正贝塞a；函数㈣)来表示。碳据边界条件可得出8个方稗的方稗组(舍有8个未知 度的理论值。 ≠f111=o樘茏八苗汁尊丧明8取鞍^值列奄场’jB取较小住sj￡三均一gt!：，前者沿径向均匀性灯， 55时所对应的电场￡与径同坐标，和角同坐标岫的关系。从E述计葬的结果可推断：表面波模式 旬m=4时均匀等离子体的密度约为Ⅳ’=3034×10“cm。：(B=100)：表面渡模式为m=6时均 匀等离子体的密度约为Nj=!．94×10”cm‘、(B=100J，而且田电场分布可断定．上述两种模式下， 若当等