螺旋波等离子体的实验的研究.pdfVIP

螺旋波等离子喇啪实验研究， 0096 王珏江南凌一鸣东南大学电子工程系南京2l 摘要：本文给出了产生螺旋波等离子体的基本发生装置，并利用最探针法测量了螺旋波等离于体中 的等离子体密度和电子温度． 螺旋渡等离子体是一种高密度的低温低气匝等离子体其等离子体密度在10’1Pa的低气压下 可选1013cm～，这是迄今采用人工方法在低气压下所能获得的最大的等离子体密度，其电离效串可 达100％111．这种等离子体在超大规模集成电路工艺，微机械加工，新型薄膜材料制各．材料表面 改性以及气体激光器等方面有厂泛的应用前景1241． 与其他的等离于体相比，螺旋渡等离子体有着许多的优点．首先，它具有非常高的等离子体密 度．鬟验表明其密度在10。1Pa的压强下比ECR等离子体的密度提高了一个数量级．另一方面，就 等离于体的稳定性、男操作性及自动调节等方面螺旋渡等离子体比ECR等离子体又略胜一筹．实 际上，由于螺旋渡等离子体采用射频电豫而ECR等离子体采用微波电豫，而且螺旋渡等离子体所 要求的磁场强度比ECR等离子体所要求的低得多，因此螺旋渡等离子体的发生装置也要简单一些 【5l 由于国内对i曩旋渡等离子体的研宽尚属首次，在此主要针对一些基本参量进行溅量．实验是通 过双探针对其等高子体密度及其电子温度进行剥量，并给出磁场和压强对螺旋渡等离于体的影响． 蕊文只是一些初步的结果，实验在避一步进行． 二． 实验装置 磁场线强 螺旋渡等离子体的安验系统 f见图主要包括真空系统 放电系统．壳气系统和等离子体 诊断系统四部分．其中放电管为 直径5厘米，长约1．2米的玻璃 管．为了尽量减小压强梯度，抽 气与克气在同一端．采用机械泵 ～扩散泵抽气系统，以使系统本 麻匝强达到104帕斯卡，实验时 通过微调进气阊注入氢气并保持 一定压强(一般为0，1帕斯卡) 放电系统则由射频电源，匹 配网络、放电电极和磁场线圈组 成．射颤源的输出功率为0—3000 瓦连续可调；频率为1356兆赫 图1：螺旋渡等离子体实验系统示意图 兹．匹配网络为一电感电容组成 的Ⅱ形网络，通过两高压可调电容调节其匹配．放电电极，采用Boswell型天线，长约12厘米 四个平行摆放的磁场线圈用来提供产生螺旋渡等离子体所必需的轴向磁场，磁场均匀度约5％． U 等高子体诊断系统主要包括静电双探针、扫描电源．滤波网络及数字式示波嚣．为了增加探针 眵 收集面积，选用了圆柱形探针，探针半径06ram，长7mm．探针放置于放电管不开口一端，相对 于天线中心的距离为40厘米．两探针相距约1厘米，垂直于放电管放置．蟪波网络主要是为了击 除RF信号对测量信号的影响．同时从本质上尽量缓解射频干扰对恩探针伏安特性曲线偏穆的影响 16刁．主要方法是螬大探针一等离子体鞘层间的电容、减小探针到外接电路的分布电容，以及利用调 谐电路．低逗滤波网络来实现． 国家自然科学基金资助工豇目．196750 47— 三． 实验结果 用静电双探针测量氩等离--7-体时，磁场强度为400高斯．在射频电源上加调制方波·方渡期率 颧率为1赫兹，占空比为10％．这主要是为了减小在较大射频功瘁条件下放电蕾的发热·抽气