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热处理对微型磁致伸缩材料传感器磁性能的影响.pdf
第27卷第2期 常州大学学报(自然科学版) V01．27NO．2
of ScienceEdition)
2015年4月 Journal University(NaturaI Apr．2015
Changzhou
文章编号：2095—041I(2015)02—0035—04
热处理对微型磁致伸缩材料传感器磁性能的影响
胡佳佳h2，叶雪梅1，胡静1’2
(1．常州大学材料科学与工程学院。江苏常州213164；2．奥本大学材料系，阿拉巴马奥本36849)
器内部不可避免地产生了内应力，对传感器磁性能带来不利影响。对徽尺度磁致伸缩材料传感器进行真空热处理，旨在消除内应
力，进一步提高传感器磁学性能。结果表明：真空退火可减小或消除传感器内应力，提高磁学性能，其中最佳退火温度为250℃，时
问为2h。该温度下退火不仅可完全释放传感器内应力，还可以改善波谱质量。提高共振频率。
关键词：磁致伸缩材料I传感器；MEMS)退火；内应力
中圈分类号：TG75．5 文献标识码：A doi：lO．3969／j．issn．2095—0411．2015．02．008
Effectof onthePerformanceofMicroscale
Annealing
Sensors
Magnetostrictive
HU Xue-meil，HU
Jia-jial”，YE Jin91’2
(1．SchoolofMaterialsScienceand
Engineering，ChangzhouUniversity，Changzhou
ofMaterials University，Auburn
partment Engineering，Auburn 36849，USA)
withthesizeof were
Abstract：Microscale sensors
magnetostrictive preparedby
500pm×100pm×15肛m
MEMS wasfoundthatthere existedinternalstressesinthesensorsformed
technique．It inevitably during
theMEMS would sideeffectonthe sensor
producingprocess，whichbring magnetic
heattreatmentwasconductedtothe sensorsinthis istoeliminatethe
research，the
magnetostrictive goal
internal thus the resultsshowedthatthevacu—
stresses，and
improvesensors’magneticpe
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