PCVD-TiN等涂层的抗高温氧化性.pdfVIP

PCVD-T N等涂屡的抗高温氧化性 6604z) 青岛化工学院等离子悔表萤覆S研究所(2 彭红瑞，石玉龙焉广之赵程 摘要：本文研究了黾’Pcj’D注所制名豹Tl、，：：ji、受Tisi～堙覆涂是冀抗高沮鼠化牲卫7．、 徐晨在职氯水舟质中的抗氧化性。结果隶。g，Ti、。、．TiSiN涂屠在空气罕奇勺抗高温氯化性可选 700℃以上，TiN涂层可选600℃。在双氕水舟王。．?CVD-TiN涂层仍吴育较强的抗氧化能，1． 且优于PVD—TiN涂层。 荚键词：等离子体化学气相沉积(Pcj0)．To?：、：、．TiSiN，涂屡．抗氯化性 1．前言 等离子体化学气相沉积(PCVD)TJ＼娄爰质涂层技术具有沉积温度低(600 ℃)和绕镀性好等特点，用这军中方法左高逮锅二具和模具上沉积TiN类硬贯涂屡三 得到较为广泛的研究和应用““。坦其量奇皇器是刊用TiN类涂层的耐磨性，提，菁工，牛 的使用寿命。而对PCVD—TiS类涂层的抗齑溢乏化性却研究得比较少。 国内某飞机部件上所用精密轴承的工作环麓温度为300℃，瞬间可达420℃。 而其高温氧化试验要求在空气中加热：刮580，c黑温30分钟，工件表面无涂层剥落 等缺陷“5。经过多种工艺反复试验，最后选用了PCVD法沉积TiN涂层，作为轴承内 外圈表面的抗氯化涂层，芽取得了成功’。为此，我们进行了PCVD—TiN，TiAIN， {，{ TiSiN及PVD-TJN(物理气橱沉积Ti、)等浮罢豹j亢氧化洼的研究分析，以期了錾 掌握这些涂层的抗氧化性，使之发挥更’泛二：童用。 2．试验方法 PCVD—TiN．TiAN．Tisi、涂星的；j鲁是老自制的PCVD设蓥上进行的，其舌 童目见文献“，PVD—TiN；客层约制吾是j蓦，j薹公司制造的多甄离子镀设备亲笔设 酌。试验所谓的材料为w】8Cr47焉遵锅j：片，芝线切割加：!成i6×19×3am安冀， TiAIN．TiSiN和PVD．TiN浍罢 其最面再经金相砂纸抛光成镜蚕，PCVD—TiN 的厚度为2．5～3．5um。 抗高温氯化试验是在管试：日热妒。逆ij的，方法为：将用PCVD法沉辑了下：N． TiAIN，TiSiN凉层及用PVD，击沉积了ri＼．末墨的离遮钢斌样：孜入管式妒辛．仨弋 气条件下加热到300～700℃，镙涅30?异，然后取出空冷至宣温，观察分爵其 表面状态。 抗双氧水豹氧化试验是将经PCVD氍PVD法沉积了TiN涂是的试样浸入瓜主 为30％的暇氧水中，期热至?0C，保：}10～20分钟，取出看司水；申净暑畋2． 然后进行观察分析。 蠡础 3试验东累 衰：匀PCI，+D．TiN，了lA：j、， 蠹2蒴置．0、爱!=i以暑出．PCI =3 P＼’D．Ti：。淙星加热到500’C就牙篙彗’j藩，兵抗商温氧化性较差。 爱i “1j^照}磬 000℃ i0D-( j|I一芑 jj0‘0 ￡0()℃ 700℃ 37，D一?】、 表面完好 表面芋兰i= 表面宠好 表耍完{7 表面完好 部分 ，颡色不蹙 勰珊枣?一 ；主’点旦 篮色 监笆 剥落 tl二?：n一 表瞄宽好 表面完荨 最面，：导 表矗壳好 表面完好 表面完好 蕊也j、变 颧色K专 啊堕不安 瓢鱼0：变 囊色不变 颜色略谍 z#”：ir 表E竞譬 表面2：-：： 夏岳克导 寰耍竞好 裘面完好 表面完立’ ’5：、 r顿包j：爱 ．葡笆x专 、_曼蹙 囊鱼娈浊 表面徽蓝 表面浅