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PCVD涂层新工艺在模具上的应用 陈旭袁红羽马文存 成都工具研究所610056 摘要：冷作模具的失效方式主要是磨损，模具的表面硬度对其使用寿命起决定作用。本文通过 采用PCVD(等离子体增强化学气相沉积)涂层新工艺，在600℃以下对模具表面进行复 合涂层，沉积高硬度的涂层材料，增加横具的耐磨性，提高其使用寿命，同时，该工艺不降 低模具本身基体材料的硬度和强度，不影响模具的尺寸精度和表面光洁度(涂层厚度小 于6pm)． 关键词：PCVD，涂层，模具，使用寿命 1概述 在现代机械加工技术领域中，模具成形技术具有生产效率商、产品质量好，原材料浪费少， 自动化程度高，成本低等许多优点，在机械、电子、塑料、医药等行业中应用越来越广泛，消耗量 越来越大。 冷作模具(包括硬质合金模具、高速钢模具、模具钢模具等)在模具成形技术中是最关键最 重要的部分，模具的质量好坏和使用寿命长短，直接影响产品质量和生产效率的发挥，用户普 遍要求提高模具的使用寿命，降低横具成本，提高加工效率和制品的质量。 j 冷作模具的失效方式主要是磨损，而模具自身表面的硬度对抵抗这种磨损起最主要的作 J 用，因此许多模具用户都要求在保证模具不崩不裂的情况下，尽量提高其表面硬度。但对于钢 基模具来讲，选择任何材料和热处理工艺，基体硬度不超过HRc70，不能满足生产要求，必须 i 对模具进行表面处理。 1 涂层中，可在600C以下沉积高硬度的涂层材料，模具基体硬度不被降低，不影响模具的尺寸精 度和表面光洁度，增加模具的耐磨性，提高其使用寿命·减少停机换模时间，以保证整个生产的 连续性，达到稳定产品质羹，提高生产效率，降低生产成本，增加经济效益和社会效益的目的。 2原理 我们采用的PCVD工艺技术，又叫直流等离子体增强化学气相沉积，是利用高压直流负偏 压(一1～一5KV)，使低压气体发生辉光放电产生等离子体，等离子体在电场作用下轰击工件， 在外热源的作用下使工件升温到预定的温度，然后通入适量的反应气体，气体经一系列化学反 应和等离子体反应，在工件表面沉积成膜。所以，PCVD工艺既包括了等离子体物理过程，又包 括等离子体化学反应过程。 DC--PCVD设备如图1所示。 628 电炉 被处理物的处理台 (阴极) 真空泵 图l DC--PCVD设备系统 3沉积条件及工艺方法 PCVD涂层新工艺是在自制的直流PCVD设备上通过改变薄膜的成分和层数变化，在模 具表面形成多层梯度复合膜，通过提高薄膜的硬度和结合强度，降低薄膜的残余应力，达到延 长模具使用寿命的目的。适用的基体材料为高速钢及硬质合金。 工艺采用的反应气体为：H：、N：、CH。和TiCI．。 200Pa，沉积温度为500～700(2，Hz、N：、CHl各气体经流量控制直接送入沉积室。 模具涂层前的预处理很重要，模具的工作部分和非工作部分都必须清洗干净后才可人炉。 装炉后，抽真空至1Pa后升温，到温后根据梯度膜的类型调整各流量参数进行涂复，根据涂层 材料和使用要求，控制沉积时间，一般在30～60分钟之间，涂层总厚度为2～49m，沉积完毕 后，在真空下通Hz气冷却至室温出炉。各涂层材料的化学反应式如下： TiN：3H2+1／2N2+TiCIl—-TiN+4HCI+H2 TiC：H。+CH。+TiCIl斗TiC+4HCI+H。 Ti