改变沉积温度在玻璃衬底上沉积制备ZnO基透明导电薄膜的研究.pdfVIP

第11卷第2期 沈阳工程学院学报（自然科学版） Ｖｏｌ.11 Ｎｏ.2 2015年4 月 Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ｓｈｅｎｙａｎｇ Ｉｎｓｔｉｔｕｔｅ ｏｆ Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ（Ｎａｔｕｒａｌ Ｓｃｉｅｎｃｅ ） Ａｐｒ． 2015 ＤＯＩ ：10． 13888／ ｊ． ｃｎｋｉ． ｊｓｉｅ （ｎｓ ）． 2015． 02． 020 改变沉积温度在玻璃衬底上沉积制备 ＺｎＯ 基透明导电薄膜的研究 1ａ ，2 1ｂ ，2 1ｂ ，2 郑 洪 ，鞠振河 ，张 东 （1． 沈阳工程学院ａ． 产业管理处；ｂ． 新能源学院，辽宁沈阳 110136； 2． 辽宁太阳能研究应用有限公司研发部，辽宁沈阳 110136） 摘 要：针对透明导电材料领域里在廉价的普通玻璃衬底上沉积制备ＺｎＯ 光电透明导电薄膜的问题，采用了新的制备 方法，将玻璃基片清洗送入气相沉积反应室，向反应室内同时通入携带有Ｚｎ（ＣＨ ＣＨ ）的氩气和氧气，制备高透射率 2 3 2 的ＺｎＯ 透明导电薄膜。制备结束后在400 ℃ 高温高温环境下退火，形成性能优异的ＺｎＯ 光电透明导电薄膜。该方法制 备工艺简单，沉积过程易于控制，所制备的透明导电薄膜均匀性好，光电性能优异，可用于制造太阳能电池、发光二极管、 ＬＣＤ 以及手机等光电器件的透明电极。 关键词：沉积；ＴＣＯ 材料；透明导电薄膜 中图分类号：ＴＮ304.055 文献标识码：Ａ 文章编号：1673-1603（2015）02-0181-04 随着社会发展和科学技术的突飞猛进，人类对功 ｉｄｅ ，简称为ＴＣＯ 薄膜）。这类薄膜具有禁带宽、可见 能材料的需求日益增加，新型功能材料已成为新技术 光谱区光透射率高和电阻率低等共同光电特性，经过 和新兴工业发展的关键。随着太阳能、平板显示和半 合适掺杂后可以进一步提高其电导性能，具有广阔的 导体照明等产业的发展，一种新的功能材料—透明导 应用前景。而透明导电膜玻璃（即透明导电氧化物镀 电材料随之产生并发展起来。 膜玻璃）是在平板玻璃表面通过物理或者化学镀膜的 一般的导电材料均为不透明材料，如金属和合金 方法均匀镀上一层ＴＣＯ 薄膜。目前应用中的ＴＣＯ 材 基半导体。但在实际应用中，均要求在导电的同时，能 ＩＴＯ-Ｉｎ Ｏ 基薄膜（Ｓｎ 掺杂）、ＦＴＯ- 料主要为三类： 2 3 够透过可见光，如太阳能电池电极、薄膜太阳能电池的 ＳｎＯ2 基薄膜（Ｆ 掺杂）和ＡＺＯ-ＺｎＯ 基薄膜（Ａｌ 掺杂）。 电极、液晶显示的电极等。一般来说，满足以下2个要 1）ＩＴＯ-Ｉｎ Ｏ 的晶体结构为体心立方铁锰矿结 2 3 求即可成为透明导电材料： 构，禁带宽度约3.5 ｅＶ ，因而在可见光范围内透明， 1）对可见光（波长 =380 ~780 ｎｍ ）的平均透过 λ -5