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光学接触式微型三维测量系统 吉贵军 HSchwenkeE．Trapet (天津大学) (德国联邦物理技术研究院) 摘要 本文介绍一种寡=光学方法的高精度和快速性及机械接触方法的可靠性和不受材料特’1生影响 的单一性优点于～协的光学接触式微型三维测量系统，片j于测量“砭宏观”微小型工件(百微 1“『1，测量力小于10州。并首次给出此系统对直径214．um微小孔尺寸和形状的测量结果。 关腱词：三维测头系统，微型测头系统，光学接魍式方法，微小工件的测量 ～、前言 随着机械微型化和微型机电系统的兴起和发展，“亚宏观”微小型=r=什(百微米至几个毫 米尺度范围)尺寸和形状参数的测量已成为计量领域急待解决的问题。 在微小型j二件几何、形状参数的洲量中光学非接触法应用比较广泛，但光学方法的缺点是 实际测量时常受到f件表面光机特性f如颜色、反射率、耜糙度)的严重影响，且边缘的确定很 大程度上取决于算法和照明方式，芳常受到倒角和材料扭曲变形的影响。～般情况F光学方法 只能测量大致垂直r光学轴的工件表面．轴向测量范围很小(一般只有lOOpm)，透明材料的工