WT-2000少子寿命测试仪原理及性能.pdfVIP

光伏组件制造、设备及发展规划．927． i_ i F 置暑；i；iiiiiiiii；i宣iiiiiiii；；iii暑譬i WT-2000少子寿命测试仪的原理及性能 艾斌。，沈辉，邓幼俊 (中山大学理工学院太阳能系统研究所，广东省广州市，510006) 摘要 在各个测量项目上获得的一些典型测量结果。此外，为了方便用户使用，我们还就仪器的测量对象、测量精 度和扫描分辨率等性能指标作了说明。 关键词 微波光电导衰减法；少子寿命；光束诱导电流；方块电阻；体电阻率。 1前 言 少子寿命测量、电阻率测量、方块电阻测量、扩散长度测量、太阳电池的表面反射率测量、光束诱导电流(LBIC) 狈0量以及量子效率测量等功能。它采用先进的不会损伤样品的无接触测量方法，可以给出少子寿命、电阻率、 方块电阻、扩散长度、反射率、光束诱导电流以及量子效率的二维扫描分布图(mapping 子寿命测量工具覆盖了晶体硅材料及太阳电池绝大部分关键技术参数的测量任务，并可给出这些技术参数的二 维精细分布，所以它本身作为一种非常理想的测量工具，在从事晶体硅材料及太阳电池生产的公司和从事相关 研究的科研单位获得了广泛的应用。 2WT-2000工具测量原理及性能 2．1少子寿命测量原理及性能 2．1．1少子寿命测量原理 生电子一空穴对，导致样品电导率的增加，当撤去外界光注入时，电导率随时间指数衰减，这一趋势间接反映 载流子的寿命。图1给出了微波光电导衰减法测量材料少子寿命的原理图。 ’通讯作者：艾斌，男，讲师。联系E．majl：stsab@mail．sysⅡ．edu．cn 928第十届中窗太阳能光恍寺议论戈集 Lase 册弼 i =I。e土， 固f微波光电导衰减》测量材料少于寿命的原Ⅲ蕾 2 12WT-2000工具少于寿命测量的性能及结果 WT-2000工具可测量硅、锗等材料的少于寿命，对少于寿命的测量范围从01lLs到30ms，测试分辨率不 低于0 选择的扫描步长越小，测试所需要的时间就越长，当然扫描图像的质量也越精细。图2给出了wr-2000工具 以1“啪的扫描步长对一个直径为8英寸的单晶硅片的扫描结果。该硅片步子寿命的最小值为619ps，最大值 为20 45}Es，平均值为18 硅片边缘处的少子寿命较低，我们认为一方面与表面复合有关，另一方面与晶体生长过程中的杂质分凝有关， 后者必然会造成硅锭外层比内层有更高的杂质含量。 _哪z●圈￡蛆—■Is…n_ 舶2盯一2000工具少于寿命测量的典型结果 22光束诱导电流测量原理殛性能 2．21光束诱导电流测量原理 量光照条件下电池的短路电流(诱导电流)及表面反射率可得到对应不同波长的电池内量子效率；通过选用2 光拭组件制造、设备理发晨规划 929 个以上激光器的测量数据，由软件计算出少子扩散长度．即通过测量短路电流(诱导电流)和表面反射率随激 发光波长的变化可以得到少于扩散长度。限于篇幅，具体测试原理详见文献[1】。为测量电池的短路电流，样 品的背面与金属台面接触．正面有个金属探针与主电极接触。电池片的反射包括直接反射和漫反射．漫反射信 号由椭球形镜面(作用相当于积分球)收集，由硅探铡器测量。最后由测得的直接反射率和漫反射率得到总的 表面反射率。图3给出了光束诱导电流测量原理图。 衄3光柬诱导电流测量原理雷 2．22WT-2000工具光束诱导电流测量的性能及结果 WT-2000工具可测量晶体硅太阳电池在波长为407，662．852和973 nm处的表面反射率、量子效率以及 载流子的体扩散长度。仪器对光