Φ120mm多晶硅棒的制备.pdfVIP

鉴定资料汇编，1986． 5沈祖祥等．Hz．SiHCl3全挥发配比系统．一九九二年全 4上海化工学院等．化学工程．第二册，北京：化学工 国硅材料学术年会论文集． 业出版社，1983． TN了。名．／2．0．广 西120mm多晶硅棒 的塑乙乞 严世权 张祖伟 (上海硅材料厂。上海201617) (上海第二冶炼厂，上海201600) 擅 要 本文阐述生长①120mm多晶硅棒的工艺技术，给出了生产试验结果， 提出了在已有技术基础上进一步提高炉产量、降低消耗的设想。 1前育 2生产试验工艺流程方框圈和设备 多晶硅是制备单晶硅的原料，是现代微 (1)流程 电子工业最重要的基础材料之一。发达国家 精僖Si 净化H2 HCl3 把多晶硅视为战略物资，多晶硅又是高能耗 产品，因此增大硅棒直径，增加炉产量，降 低消耗，降低成本一直是多晶硅生产者努力 解决的问题。 北京有色金属研究总院1958年开始研 究用Si虬氢还原法生产多晶硅技术，1960 年冶金部在上海901厂(上海第二冶炼厂) 等单位建立生产车间。大约在1966年，上 海第二冶炼厂改用SiHCl3氢还原法生产多 晶硅，蚴0nlln不锈钢还原炉炉产量约 34kg，q，500mm还原炉炉产量约45kg(矩形 炉约为90kg)，当时硅棒直径．50mm。其后 (2)还原炉：q，1100mm．4对棒，每根 改进设备，在1978年研制出thl37mm多晶’ 棒长1050ramo 硅棒，1980年研制出。①155mm多晶硅棒。本 (3)供电：l∞0KVA磁性调压器。 文论述①120mm多晶硅棒生产试验工艺技 3生产试验结果 术。设计制造的这一台还原炉1980年一 (1)部分生产炉次列于表1。 1992年稳定生产十三年，最高月(1986年2 (2)多晶硅棒直径测试结果列于表2。 月)产量达610kg，1986年3月为597l【g。 ·87· 裹l部分生产试验炉次、硅■直径、产量裹 重缩 硅棒直径 炉产量 生长时间 平均沉积速度 曩终电流 量终电压 炉次 (m) (kg) (h) (e／h) (^) (V) l 120 220．5 265 832 2 247 8加 25∞ 140 3 2∞ 8憾 姗 145 4