溫度影響尺寸量測之機率分配.pdfVIP

温度影警尺寸量测之楼率分配 方承彦 宋震固 (清攀大学勤橇系 台湾新竹) 王品皓 李佳霖 (量测技衡骚展中心 台湾新竹) 摘要 精密尺寸量测封於温度的敏感度相耆高，耆造行高精度的量测畸，瑗境僚件必须维持 在20℃附近，以得到最佳之量测结果。但是温度的控制仍有其限制，即使在瑗境僚件桎岛良好的赏 GUM 验室内逛行尺寸量测，仍有可能因温控的技街或效果萼致量测结果的不磙定度。一般在以ISO 乘评估温度效虑所尊致的不碓定度分量畴，因焉成本的考量-不便赏除苋集数攘以A颊评估法评估 此不雄定度，留惯上多送择使用B频的评估方式乘估算。而逛行B颊评估的主要步_骤之一便是先假 投温度影擎所呈现的橇率分配，再由此橇率分配推尊B频的不碓定度。常用的械率分配有常悲分配、 U型分配、矩形分ziE,gA及三角形分配等。此畴该引用何獯橇率分配各家规法不一。本文将透遏敦翠模 式的推尊，求出赏验室瑗境温度燮化之械率密度函数，再以模撅的款掠配合挽士十圃表分析，短统计之 通合度桧定来验镫其j蔑率分配，镫明温度燮化所引起之械率分布，以提供使用者更有信心度之数攘采 造行B颊之不磙定度评估，提升不磙定度评估之品赏。 1前雷 精密尺寸量测封於温度的敏感度相耆高，羁了量测敷掠的可比较性，圆隙上耵有一量测 之基犟温度20℃，常遭行高精度的量测畴，瑷境傈件必须稚持在20℃附近，以得到最佳之 量测秸果[1】o但是温度的控制仍有其限制，即使在瑷境倏件棰属良好的寅骏室内遭行尺寸量 5所提及之E赧AA 测，仍有可能因温控的技衍或效果蓦致量测籍果的不碡定度，例如JIMS 颓的寅骏室也有士0．5℃之上下斡可限[2】’因此在此瑕境下道行量测，其不碓定度仍必须予 以估补。而一般在以ISOGUM[3]来释估温度效臆所溥致的不磋定度畴，因舄成本的考量， 不便寅隙苋集敷掾以A颓孬估法孬估此不磋定度，留1贯上多遴择使用B颓的秤估方式束估 算。 迤行B颊郭估的主要步骤之一便是先假毅温度影馨所呈现的横率分配，再由此棱率分配 推溥B颊的不谁定度。因此，如果檄率分配的假彀不封的嚣，便畲造成不磋定度的错估，P． Tarapeik便使用敷值模凝东找出合理的棱率分配【4】，只是其多用在常兄的常悲舆矩形分配探 讨，蓝未封瑕境温度燮化之横率分配多做著墨·而在量测不雅定度的估算中，常用的横率分 配有常憋分配、U型分配、矩形分配以及三角形分配等。此畴孩引用何覆棱率分配各家就法 不一，其中，较常被引用的属矩形分配·但由寅隙靓察空翻的逼作原理得知，寅骏室要苑集 到矩形分配的敷掾寅在不容易：反倒是三角形分配舆u型分配较符合空翻的逼作，就赏傺 一。106— 温度控制的横制来看，如果空嗣性能鞍佳的瑕境，只要温度一偏高，匿糖楼即髓始穰逼蒋以 降低室内温度，待温度一偏低，匿稿横即停止，穰温度幔慢回升，如此迥而後始，落在寅黢 室欲控制的温度匿同之搬率较高，就容易符合三角形分配。相反，一倜温度控制不佳的寅骏 室，其瑕境保件剐较容易崖生u型横率分配。本文将透遇敦孥模式的推尊，求出寅黢室瑕 境温度燮化之械率密度函敷，再以模凝的敷掾配合统种固表分析，樱统计之逋合度桧定束胺 嚣其横率分配，澄明温度燮化所引起之棱率分布，以提供使用者更有信心度之敷撩东连行B 燎之不碓定度秤估，提升不碓定度斡估之品赏。常然寅黢室大小及空弱能力可能也是影警之 藉多因素之一，但在本章中将暂睛省略此一因子之影警a 2温度分布之楼率密度函敷 通常在逛行尺寸精密量测畴，都畲以20℃属基辈温度，蓝将寅骏室的温度稚持在(20±A) ℃，管制上下限A(℃)则税寅黢室的瑕境等赧而定【2]。而精密量测在作温度修正畸，多探用 在某一睛同黠鬣测到的温度，所以在敷罩模式推尊之前，须先作倜合理的假毅，在某一段的 觏测畴筒箍国内，每倜觏测畴蔺黠出现的棱率相同，也就是每次取檬蠲距均相等，逼胳使得 觏测峙同呈现矩形分配，亦即如果