氧原子在化学气相淀积金刚石过程中的作用.pdfVIP

氧原子在化学气相淀积金刚石过程中的作用。 刘志杰张卫万永中 王季陶 (复旦大学电子工程系CVD研究室，上海，200433) 摘要含氧体系低压金刚石的制备由于氧的存在， 就可以计算碳氢氧体系生长金刚石的非平衡定态相 能够改善金刚石薄膜质量、提高淀积速率和降低淀积 图。 温度而被人们所重视。本文根据非平衡热力学耦合理 3计算结果与讨论 论模型计算得到了碳氯氧体系金刚石生长的投影相 图，与大量的实验结果比较相符合。讨论了氧原子在 根据经典平衡热力学，石墨是稳相，金刚石是亚 金刚石淀积过程中的作用，计算结果fin为金刚石生稳相，计算得到的相图中没有金刚石生长区，因而经 长实验提供定量化的条件选择和优化的依据。 典平衡热力学无法解释，低压金刚石生长过程中，金 关键词氲金刚石相图 刚石连续生长而石墨被腐蚀的实验事实。而根据非平 衡热力学耦合模型计算，得到的碳氢氧体系金刚石生 1引言 1，相图中存在一个金刚石生长区，将相图与收集得到 以含氧气体混合物为原料制备金刚石，由于可以 的盒刚石生长实验点(文献6～33)相比较，从图中可 改善薄膜的质量，降低金刚石薄膜的淀积温度和提高 I；土看出：理论预言与实验事实符合良好。相图中金蹦 淀积速率而被人们所重视。少量氧的存在可以大幅度 石生长区，说明理论与实验事实是完全一致的：在氢 提高金刚石薄膜的淀积速率约50％(相对于碳氢体 原子和氧原子的存在下，有外界能量对反应系统的输 系)Ⅲ。 入，而使石墨变成亚稳相，金刚石相对成为稳相。在实 在前文中，提出了一个非平衡热力学耦合理论模 验过程中表现为金刚石的连续生长，石墨同时被腐蚀 型，解决了金刚石低压下持续生长，而石墨同时被腐 因而可以解决金剐石连续生长的实验事实与经典平 蚀的实验事实与经典平衡热力学之间的矛盾c2～53，根衡热力学之问的矛盾。 据该模型，可以得到另一类不向于平衡热力学中，平 衡相图和亚稳相图的非平衡定态相图，为低压金刚石 的制备实验提供定量化的研究方法。 本文根据非平衡热力学耦合理论模型，计算了碳 氢氧体系金刚石生长的投影相图，与收集的近10年 的大量实验结果相比较符合良好，还讨论了氧原子在 低压金剐石生长过程中的作用．本文的计算结果可以 为实验研究提供指导。 2 非平衡热力学耦合理论模型 图1碳氢氧体系金刚石生长投影相图与实验结果 要点及相图计算方法 1 of FigComparisonphase withexperirnen— diagram tal 非平衡热力学耦合模型的要点和推导详见参考 因此，根据非平衡热力学耦台模型理论和实验事 文献[5]。根据前文的研究，可取耦合反应常数x的值实，我们认为，氧原子在低压金刚石生长过程中，主要 为0．28来计算激活石墨的热力学数据，并代替石墨 有以下几方面的作用； 的热力学数据，用通常自由能最小化的热力学程序， ·国家自然科学基金和“863”高科技基金(85a一715—010—0050)资助项且 ‘功能材料，增刊1998-10 1025