真空监测和控制的智能冷阴极规管超高真空计的研制.pdfVIP

998 7．10．15 第二届全国加速器技术学术交流会论文集 真空监测与控制的智能冷阴极规管超高真空计的研制 徐锡林，刘益敏，姚传荣，汪啸 中国科学技术大学 国家同步辐射实验室，安徽230029 摘 要：本文介绍我室研制的作为真空刮量与控制的智能冷阴极规管超高真空计．它是根据我 们实验室光束线和实验站真空监测、控制和联锁保护功能的特殊要求而研制的．其真空测量范 围为5×10—l一5×10一8 Pa．采用单片机Intel8031，馒设蚤结构简单、使用方便、运行可靠、 功能可扩． 关键字：真空智能超高真空计 1前言 中国科学技术大学国家同步辐射实验室是我国第一座专用同步辐射光于]。厂，为用户提供从真空紫 存环和光束线、实验站均工作在10-8Pa左右的超高真空中，超高真宅计则是监测真空的必需设备。特别 是光束线和实验站上，真空计不但是真空的监测器，而且是真空控制和联锁保护的传感器。一旦光束线 或实验站真空系统发生气体泄漏事故，便以此传感器发出信号，驱动光束线前端的快阀、门阀、光闸等 迅速关闭，隔断光束线与电子储存环真空系统的联系，从而达到保护电子储存环真空系统的正常运行之 目的。 在实用过程中，由于我们的真空控制与联锁保护功能的特殊要求，使用国产的多种超高真空计均不 尽人意。对于采用外购超离真空计兼作真空控制传感器时，均需对真空计作电路上的改进和改装，以适 应真空控制快速响应、越限报警等功能要求。另外，热阴极电离真空计在开关瞬间，由于电源冲击、离 子流波动的影响，有时产生不希望的控制信号而导致快阀误动作。故根据我们实验室对真空计功能的要 求，且考虑到采用单片机的智能化仪器仪表具有结构简单、使用方便、运行可靠、功能可扩等优点t我 们研制了智能冷阴极规管超高真空计。 2．工作原理 8 为使真空计具有量测压强为101—10 020冷阴极规管[2】(也可采用成都国光电子管总厂的M014型反磁控式冷阴极超高真空电离真空规管)作 真空测量器件。其特性曲线见图1所示。 冷阴极规管是一种自持放电型规管。自持放电是在气体中置有二个电极并加上直流高压时，在一定 低压强范围内出现的一种放电现象。自持气体放电电流值取决于外加电压、气体的成分和压强。在阳极 电压和磁场都保持常数的条件下，对于一定的气体成分，放电电流即是一个压强测量值。由图l特性曲 线可见，自持放电电流与压强呈对数关系．故前级应采用对数放大器。 图2为前级对数放大器原理图[3]。其工作是基于晶体管集电极电流与基一射EgE,的指数关系： ，。=，，【P”“／AT—1] 当基一射电压大于IOOmV时上式则为： I：=i?eq、-归 第二届全国加速器技术学术交流会论文集 IKR 图2 对数放大器原理图 图1 020特性曲 对于工作于不同集电极电流的二个对称晶体管，其VBE之差为 叫∥-2．303 x等1 09l。鲁 参照图2，很显然，T2集电极电位就是T1和T2管之间的△‰，则输出电压％为 产川‰=～2．303 x【≮#j(}jlog吖告圳。s。寺 V0，经过一定的信号处理：一路经模数变换，由单片机处理作真空度数字显示及与计算机接口的BCD 码输出；另一路作光束线和实验站真空控制和联锁保护的起动信号以及玉强越限时切断高压、保护规管 的控制信号。 3．电路设计 智能真空计田模拟电路和数享电路组成(其总体方框圈如图3所示)。冷规规管的3．3KV高压由20V 模拟电路部分 数字电路部分 ————-——-÷———————-———————-—-+ 甲圈 亨困 圈圈 甲辛圈