高分辨率显示产品适用的Al刻蚀液特性的研究.pdfVIP

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2015-08-03 发布于安徽
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高分辨率显示产品适用的Al刻蚀液特性的研究.pdf

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曹占锋，高锦成，孔祥春，李正亮，惠官宝 001 (京东方科技集团股份有限公司技术中心，北京1 76，caozhanfeng@boe．com．cn) 要：目前高分辨率产品已经成为智能手机、平板电脑、大尺寸高清电视的发展方向，为了保证高分辨率产品的开口率，需要减小金属线宽度，如果采用现有CD bias和刻蚀 profile的需求，并且产品信耐性也通过了测试，可以应用到量产中。关健词：金属薄膜，A1刻蚀液，高分辨率，CD偏差，开口率，信耐性 ofnewAI Wet characterizationetchantfor PPI etching high product CAO Jinchen，KONG Guanbao Zhanfeng，GAO Xiangchun，LIZhengliang，HUI (BOE Co．，LTD TechnologyGroup TechnologyCenter，Beijing recent resolution havebeen usedintheareaofsmart size-i Abstract：Inyears．high products widely phones，tablet，andlarge V， andit’swelIknownthatsmallIinewidthisthe to transmittancewhich tolower the S／D keypointgethigher prior linewidthissothinthatIine wilIoccur if normaIetchCD newetchantwithsmalICD open greatlyusing bias(2．0um)，so toassurethefinaIIinewidth。Inthis introduceanewAIetchantwithsmallCDbiasand bias(1．0urn)isrequired paper．we good not hasbeenusedforwetetchofAt／MoandMometal．butalsometthe 5Maskand4Mask in profile．whichonly spec．for process the canbe mass the thenewetchanthas G5Iine．Thereforenewetchant to becausedevice promotedproduction using passed the test． reliability words：Metal，Al resolution，CDbias，aperture Key etchant，high ratio，reliability 1引膏随着智能手机市场的迅速发展，屏幕作为消费者的主要互动接口，对玎：．EM 300I，PI