石英声表面波（SAW）谐振器的研制.pdfVIP

石英声表面波(SAW)谐振器的研制 陈 晓 阳 航天部23所长瑶声表面菠公司 摘要谐振嚣在通讯翻信息处理中褥到r-．ig的应用．芑可作窄带滤波器，还可角作颤辜潦关键部 件，sAw谐摄嚣可以直接工作亍甚高频翔趟高频段．并且是唯～在该颓段内姥获得高的品质因数的舞 件，苹文简要介绍丁s：4．WR基本构成及作看在汀石英基片上研制的两种SAWR。 ～、$AWR基本结构 图一和图二是两种基本的s^wR结构框图 因戛因 反一阵列岛反对阵列 甲嚣覃单 反射阵列n打1血2反射阵列 圈二基本双端对SAWR框图 SAWR由芦反射阵列和叉指换馒器(Err)两个基本单元构成。 sAwR声反射阵列由一个表面微扰的周期阵列组成，当周期阵列的周期长等于表面波 振腔，它实际上是一个平面Fabiv—Perot谐振腔。 sAwR叉指换能器构成SAWIt的能量耦合机构。 一个谐振器的性能几乎完全取决子反射器特性，在无传输损耗的情况下，一个反对腔 的O值为： Q=揣 (1) _ 式中，r为反射阵列的反射系数；有效腔体长度： ￡=：工，÷￡，=m i2) m——整数；L是两反射阵列之回距离；L，：声能量渗透进入反射器深度。 f’2 宙(1)式可看出，注何在反射器中的能量损失(由于横式转换或吸收)导致j 减小．从而导致反射腔的0值下降。 ·一4谐振腔的筚个舞蘸相移÷应是z的整数倍，即： j=螗t屯=血 t3) ·j?是幅压反射相位．p，是两反射器问的传稔相位．要是整数) 另外，三AwR甲酌叉者按能器可放在驻坡翁最大值处．达对有最佳的能量藕台，量 弘wR频响可失真l对尊叉指g)T)，为了避免失真响应，匹yr寤条要偏离驻渡波蜂v8。 二、ST石莫基片上SAWR研制 订石英的一骱延迟温度系数为零，照它的机电耦舍系数小．要获得足够的器量耦合， 必然要有菝长的B了r．这鲋导谐振腔体长度增大．从而引起模式间隔的减小，从而出现多 _ 模式同题。另外，由sA_wR橱阵横向边缘不连续丽引起的能量反射以及这些反射在腔内的 存贮，瘟得谐振响应的裔瑞边缘出现一些小的锯齿，这就是所谓横切模同题。 1．横切模的抑制可以通过 (a)碱小反射器孔径策抑制； (b)对换能器加权，如权函数可采用基次横切模： (4) (1一挚)(1一警)=c。s(P≥)一器a(p≥) 这里，我采用(b)方案。 2．多模式抑制 利用SA讯反射阵列有—个窄的反射器阻带，使主谐振摸式以外的其它谐振模式位于 反射阵列阻带以外，从丽单模式工作的sAwR所需最大反射器闻隔 一芎穿 (5) 式申，等为反射阵列声阻抗不连续率。 N，：反射阵巩条带