化学气相沉积金刚石薄膜刀具膜／基附着性能研究现状.pdfVIP

维普资讯 龙剑平等 化学气相沉积金刚石薄膜刀具膜／基附着性能研究现状 化学气相沉积金刚石薄膜刀具膜 ／基附着性能研究现状 龙剑平 ，汪灵 ，张湘辉 ，常嗣和 (1．成都理工大学材料与化学化工学院，H)l『成都610059； 2．成都理工大学金刚石薄膜实验室，四川 成都610059) [摘 要] CVD金刚石薄膜涂层刀具被认为是能最早实现 CVD金刚石工业化应用的领域之一。目前，限制 CVD金 刚石薄膜涂层刀具产品大规模产业化应用的主要原因，是金刚石薄膜与硬质合金基底之间粘附性能较差：如何提高膜／基 粘附性能，确保CVD金刚石薄膜涂层刀具优异性能的发挥 、涂层刀具的使用寿命和加工性能，已成为材料科学工作者迫切 需要解决的问题。介绍了影响CVD金刚石薄膜硬质合金刀具膜／基附着性能的主要因素、改善金刚石薄膜与硬质合金基 体之间附着力的途径以及表征膜／基附着力的测试方法等方面的