用于形成栅氧化物膜的硅化铪靶材及其制备方法.pdfVIP

维普资讯 刘燕萍等 等离子表面合金化层摩擦磨损性能研究 l500 素均由表及里呈梯度分布，表明具有优异的结合能力；Ti—N共 l200 渗层形成了氮化钛沉积层和扩散层，厚度在 l0m以上 ，M0一cr 900 600 共渗层厚度在 100~m以上。 300 0 2)Ti—N共渗层平均硬度达到HV2300，渗入合金元素 cr、 距表I面距离机m Mo，表面含量分别达到4％和 12％左右，合金化层成分接近钼