分子束外延设备液氮冷却系统选型手册.pdfVIP

200111  DDeMaCoo液氮氮冷冷却系系统统  中国总代理：  北京宇丰凯电子有限限公司  2011‐3‐222  北京宇丰凯电子有限公司    DeMaCo  公司简介      荷兰 DeMaCo 公司是一家专门从事冷却系统的设计、制造和服务的国际知名公司，已 有近半个世纪的历史。DeMaCo 从创立的伊始就专心致力于各种冷却系统的研究和生产，无 论是从工程解决方案，还是其产品的设计、制造，都形成了自己独特的风格，其独到的见解， 优秀的产品质量，高效的服务在全球范围内受到了广大用户的青睐，为 DeMaCo 赢得了国 际声誉。 现在，DeMaCo 早已成为全球同行业中的佼佼者，在全球占有较大的市场份额，其客户 群体分布在世界各大洲和主要国家，涵盖多个领域，从大型的系统工程到每一个微小部件， DeMaCo 都力求完美地为客户寻求最佳解决方案，其完美的产品品质和完善的服务体系为用 户提供了坚实的保障。其产品应用包括航空航天领域、电子领域、汽车制造领域、冶金领域、 石化领域、医药领域、生物领域、食品领域等多种关系到国计民生和高尖端科技领域。 DeMaCo 先后获得了世界多个认证体系的质量认证证书，已成为用户心目中代表高品质产品 的标准。   DeMaCo  资质  ISO 9001 (Bureau Veritas); ISO 3834­2 Nederlands Instituut voor Lastechniek  (NIL); PED H/ H1 (Lloyd`s register); VCA** (Bureau Veritas);      北北京宇丰凯电子子有限公司    液氮氮冷却系统统概述 对于超高真真空半导体设设备（例如分分子束外延 （MMBE ）系统））是工艺很复复杂的系统，它需要运 行在在超高真空环环境下。系统统的冷屏需要要液氮来冷 却，冷屏的容积积要足够大，这有助于提提高真空的 泵取取速度并在真真空腔室内达达到更好的真真空水平。 做为为欧洲最大的的低温工艺制制造商之一 DDeMaCo 可 以向向用户提供标标准组件的用用于相关系统统的液氮供给给系统。液氮氮供给系统的的特别设计可以使 用户户的生产能力力最优化，液液氮的供应完完全自动化。 液氮氮冷却系统统组成 一个液氮供供应系统由如如下部分组成：从液氮存储储罐到 真空空状态分离器器之间，真空绝热良好的输输液管路；用用于分 离气气氮和液氮的的状态分离器器；一个或多多个真空绝热热软管 （数数量取决于冷冷屏和分接点点的数量）与与状态分离器器相连; 液氮氮从状态分离离器经软管供供应给半导体体设备系统的的冷屏 和分分接点，从冷屏出来的气氮氮再通过软管管返回到状态态分离 器; 然后通过一个真空管路将将气体排放到到空气中。 液氮氮冷却系系统示意意图 用用 状态分分离 真空绝绝热输液软管管 氮氮 液液氮罐或制 真空绝热输输液管道 器 设设 氮氮设备 备备 真真空绝热回气气软管