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(3)弹性微动工作台的设计 在设计时，首先完成整个工作的零件图及装配草图，选择材料，计算出该工作台的质量m。 确定柔性铰链的基本参数t和R。根据确定的刚度，查表4-6。柔性铰链的基本参数t，R应满足下列工作要求： ①柔性铰链内部应力要小于材料的许用应力。在微位移范围内，此条件一般都能满足； ②微位移器产生的最大位移输出时，微动台的弹性恢复力应小于微位移器的最大驱动力； ③微动台的刚性应尽可能大，使其具有良好的动态特性和抗干扰能力。 根据微动工作台的结构原理，微动台的振动模型可以简化为一阶弹簧质量系统，故微动台的固有频率为 (4-78) 式中 m——弹性微动台部分的质量。 由于电致伸缩微位移器的驱动力在20kg以上，可按公式(4-77)和公式(4-78)来设计微动工作台。 本例题为130×100×20mm，如图4-42所示，固有频率f＝219Hz，刚度K＝0.35kg／μm，t＝2mm，R＝1.5mm，m＝1.8kg。几何精度与刚度见表4-7。 2．弹性微动工作台的误差分析 (1) 弹性微动台设计误差分析 弹性微动台运动时，柔性铰链实际变形有转角、挠度和伸缩三种。根据Paros的近似公式，在t一定的情况下，转角、挠度、伸缩三种变形分别正比于lR1/2，R3/2和R1/2，因而在R较小及ht的条件下，实验结果表明与理论设计值之比＜1％。可以认为由于设计时假设只产生转角所造成的设计误差可以忽略。 (2) 微动台几何误差 由于微动台铰链圆孔中心位置加工不准确，会造成柔性铰链位置和厚度t带来的误差。理想的微动台可看成图4-43所示的平行四边形机构，当AB＝CD时，连杆AD才能严格平移。若柔性铰链由于铰链的几何位置不精确，使AB≠CD，设AB＝a，CD＝a’，Δa＝| a - a’|则引起的机构误差Δφ为 故AD杆的转角误差Δα为 式中 φ1＝φ +Δφ，由于Δφ很小，cosΔφ≈1，sinΔφ≈0则上式可简化为 (4-79) 因微动台的行程只有几十微米，所以φ角的值非常小，取cosφ≈1，sinφ≈0因此由于Δa引起杆转角误差Δα→0。 故由于孔加工精度引起的位置误差而造成工作台的摆角Δα可以不予考虑。 柔性铰链的位置误差还会造成x，y两方向四连杆机构的垂直度误差，设两个方向的杆长分别为lx和ly，孔的位置误差为 +Δ，则可能造成的最大垂直度误差Δθ为 四、微动工作台的特性分析 (一)静态特性 微动工作台的静态特性是指输入位移x不随时间变化，即dx/dy＝0时的特性。其静态特性主要取决于驱动器的特性，本例采用电致伸缩微位移器，故微动台的静态特性主要取决于电致伸缩微位移器的电压——位移特性。 在电致伸缩微位移器上加电压，微动工作台就有位移输出，其目的是可以获得微动工作台的行程及分辨率，以及电压——位移曲线的线性度，以决定微动工作台的工作范围。 图4-44是一电致伸缩微位移器测试的电压—位移特性曲线，曲线呈抛物线形(只画一半)。从曲线可见，在升压(伸长)和降压(回缩)时两条曲线不重合，存在着迟滞现象。电压100～220V范围内性线度较好，位移回零重复性优于0.01μm，位移分辨0.01μm，行程＞7μm。 分析静态特性为微动工作台的使用，例如行程、分辨率、线性范围等提供了依据，同时为高精度补偿的修正(迟滞现象引起误差)，也提供了正确的数据。 (二) 动态特性 工作台的动态特性是指输入位移按正弦变化条件下的特性。 研究微动台的动态特性的目的： （1）避免系统在刚度极小值(即谐振频率)附近工作，以免给系统带来很大的误差甚至无法工作乃至破坏； （2）固有频率ω0和阻尼比ξ反映了系统对动态激励下的响应速度和超调过冲量的大小。 1．幅频特性、静、动态刚度 弹性微动工作台系统简化模型如图4-39b所示的质量—弹簧—阻尼二阶系统，根据公式(4-69)为 (4-82) 当外力F0＝Ftx＝常数时，那么 此时系统的刚度为静刚度k0，则 (4-80) 式中 yo——外力F0为常数时，工作台的位移。 当外力按正弦变化时，即Ftx＝f sinωt，则 (4-81) 式中 k＝K+Kt 对式(4-81)经变换得 式中 ——固有频率； ——阻尼比。 公式(4-82)进行付氏变换，得到幅频特性A(ω)为